制绒清洗工艺文件.docx

编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径学海无涯苦作舟页码：江西天能电力股份有限公司文件名称：156多晶硅片绒面制备工艺文件编号：版本：TNSC-01:编制部门：技术部生效日期：页数：1.标题156mm*156mm多晶硅片绒面制备和清洗甩干工艺。2.目的2.1清洗多晶硅片表面油污和损伤层、氧化层的去除。2.2在多晶硅片表面制备一个反射率较低的织构表面。3.适用范围适用于无锡市瑞能科技有限公司DUZQJ-9000型多晶硅制绒清洗机及QSJ-03型清洗甩干机。多晶硅片绒面制备(硅片型号：156mm*156mm)4.定义多晶硅在去清洗腐蚀后目视硅片表面呈均匀的灰黑色没有明显的斑点多晶晶界不明显。显微镜下绒面形貌均匀硅片表面无明显台阶。5.职责5.1所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作；5.2在操作过程中遇到问题应及时向相关技术人员反应相关技术员及时提供帮助。6.内容6.1插片6.1.1主要原材料：合格的多晶硅片6.1.2工装、设备：片架（小花蓝）清洗花篮美工刀6.1.3工艺过程6.1.3.1穿戴好工作服、工作帽、口罩和一次性手套。6.1.3.2准备好片架、装片记录表以及工序流程卡。6.1.3.3查看配料单确认原材料信息以及数量并填写装片记录和工序流程卡。6.1.3.4检查硅片包装箱确认包装无撞击破损后打开取出硅片包装盒在装片记录上记录相关信息。6.1.3.5打开硅片包装盒从中抽取一片按照检验标准分别检查其外观。6.1.3.6取出包装盒内的硅片并撵成扇形轻轻插入片架内。6.1.3.7将装好硅片的片架分批按顺序整齐摆放在台面上并将工序流程卡记录准确。6.1.3.8将片架放入清洗花篮中每个清洗花篮中放置3×4个插片后的片架。准备下一步腐蚀清洗。6.1.3.8注意事项1.每个片架最多可以插片25片。插片过程中对硅片进行检验不合格硅片挑出。每装100片硅片需要更换一次手套如装片过程中手套破损需及时更换。2.插片处打开包装箱拿取硅片时遵循少量多次的原则不允许一次拿过量的硅片。3.插片时手中拿的硅片数量在50-100片。4.确保没有缺陷片流出。5.确认在单个片槽内没有双片现象；各项数据的准确性和完整性。装片过程中需及时将碎片、裂纹片以及其它与检验标准不相符合的硅片挑出并做好记录。6.2腐蚀清洗6.2.1开机打开氮气阀门、压缩空气阀门、纯水阀门打开总电源→PLC电源→各分电源6.2.2准备工作6.2.2.1确认各机械手是否在原点位置。6.2.2.2确认各槽清洗状态正常各槽内按工艺条件正确配液见《清洗配液作业指导书》。6.2.2.3确认各槽排水阀关闭无漏液等各槽内注入规定的溶液。6.2.2.4确认各槽控制系统工作正常程序准确参数设定准确。6.2.2.5点检各设备动力参数在规定范围内。6.2.3关机6.2.2.1关机前先把水及药液完全排出（各槽逐个排液防止副槽水溢流）把机械手打回原点。6.2.2.2关闭各分电源→PLC电源→总电源→氮气、压缩空气、纯水阀。6.2.4工艺过程酸腐蚀制绒：8槽清洗机中的第1槽工作温度7℃±1℃时间120±10sec（时间长短根据硅片减薄量控制156硅片减薄量控制在每片0.40～0.55g。漂洗/喷淋：8槽清洗机中的第2槽水洗槽时间2～5min。KOH碱洗：8槽清洗机中的第3槽KOH百分浓度2.4%时间6～12sec。漂洗：8槽清洗机中的第4槽水洗槽时间2～4sec。HCl酸洗：8槽清洗机中的第5槽HCl＋HF百分浓度5～10%时间2～4sec。漂洗：8槽清洗机中的第6、7槽漂洗槽时间2～4sec。喷淋：8槽清洗机中的第8槽喷淋槽时间1～3sec。6.2.5工艺说明6.2.5.1表面绒面均匀、无亮块、无白斑（干燥硅片在日光灯或聚光灯下检查）。6.2.5.2去除厚度要求：硅片腐蚀去除厚度范围7.7～9.4μm以8～9.1μm（0.47～0.53g/片）为宜。6.2.5.3工艺条件见附表26.2.5.4八槽清洗机的1、3、5槽需要经常补液补液有消耗性补液和液面高度不足补液两种6.清洗工序制绒质量异常处理见附表37.硅片去除厚度及重量与消耗HNO3之间的关系见附表58.4.1超声清洗工艺条件见附表1补液前清洗补液1制绒补液：1-1消耗性补液：1-1-1补液配方：硝酸:氢氟酸＝1:2.35（体积比）即10升硝酸加23.5升氢氟酸1-1-2制绒补液时间和量：每做300片156硅片后补液一次1.61L；或者加入硝酸0.48L和氢氟酸1.13L。液面高度不足补液：液面不足时添加原始制绒液即硝酸:氢氟酸:水＝5:1:3.4（体积比）1-3槽液寿命：1万片（暂定）2KOH补液：配方：45%KOH