激光干涉仪线性测量操作专项规程.doc

激光干涉仪线性测量操作规程本规程适用范围：适适用于专职从事激光干涉仪测量工作。二、作业前准备：熟悉激光干涉仪正确操作步骤。检验激光干涉仪机箱中各个部件、相关配套装置和所需工具是否齐全。检验供给电源是否为220v，预防缺项、短路情况发生。测量前，必需先将机床参数数据等备份，最好能在硬盘上备份一份，在移动设备上备用一份，以防丢失。严禁对未备份机床进行赔偿。操作规程：三脚架安装：将三脚架（见图一）从箱中取出，三条支撑腿撑开，中间一节拉出、旋紧，放在被测元素前方平整位置，如地面不平，将地面进行处理；假如地面很光滑，则需要用粗糙麻布垫在三脚架下面。用钥匙打开仪器箱，从机箱中取出云台自锁螺母旋到三脚架上。图一：三脚架2、XL-80激光头安装、调整：①、用右手拇指和其它四指分开，正确抓住XL-80激光头（见图二），左手配合将激光头和云台从机箱中取出，左手将云台下方自锁手柄推到松开位置后，置于三脚架云台（见图三）自锁螺母上，慢慢转动激光头，使自锁手柄和云台自锁螺母正确结合，锁紧手柄自锁。要求：激光头射出光束应和被测元素相对运动方向平行或一致。图二：XL-80激光头图三：云台、释放云台全部旋紧螺钉，使云台各方向行程处于中间位置，锁紧。③、从机箱中拿出微型水平仪（见图四），置于激光头中间位置，经过三脚架调整激光头整体水平。图四:微水平仪预热激光头：从机箱中取出激光头电源线和一条XL-XCUSB电缆组件数据线，将其正确插入对应接口，电源插头插入电源，数据线另一端口插入电脑USB接口。打开电源开关，激光头进入预热状态。将激光头光闸旋转到找正光源状态位置。激光头发射出激光束，但此时激光束是频闪不稳定状态。安装赔偿单元：从箱中取出强磁力吸盘（见图五），将其安装在被测元素固定部位处（安装时注意安全，预防吸盘磁力夹手）。图五：强磁力吸盘取出材料温度传感器（M）（见图六）和空气温度传感器（A）（见图七）图六：材料温度传感器图七：空气温度传感器将材料温度传感器（M）带有传感器一端经过永磁体固定到被测元素被测材料上，另一端接口经过XC-80赔偿器（见图八）第二、第三或第四个接口和XC-80赔偿器相连接，接口插孔一定要正确对正再慢慢旋入。图八：赔偿器和两个温度传感器将空气温度传感器（A）带有传感器一端经过永磁体固定到被测元素固定表面上，另一端接口和XC-80赔偿器第一个接口（标志为☌）相连接，接口插孔一定要正确对正再慢慢旋入。XC-80赔偿器正确卡入在强磁力吸盘上取出另一条XL-XCUSB电缆组件数据线（见图九）正确连接到XC-80赔偿器和电脑USB接口上。电缆组件数据线图九：电缆组件数据线安装光学镜组件：①、从箱中取出两块永磁体座（见图十）和三个连接杆（见图十一），将连接杆分成两组分别旋在两块永磁体座上，用加力杆旋紧，备用。图十：永磁体座图十一：连接杆②、将一永磁体座固定在被测元素相对主体运动部分适合位置上，另一永磁体座固定在被测元素相对主体静止部分适合位置上。要求：相对主体运动部件永磁体座在相对主体静止部件永磁体座和激光头之间位置，而且一定靠近对主体静止部分最近位置处。③、取出线性干涉镜（见图十二）、参考反射镜（见图十三）和干涉镜固定架（见图十四），待激光头发出激光后，将其正确组合后固定在被测元素相对主体运动部分永磁体座连接杆上，高度是激光头发射激光刚好从中心穿过高度。要求：1、干涉镜箭头方向就是激光行进方向，一定正确组合干涉镜组。2、干涉镜一条边棱和永磁体座尽可能平行或垂直，这将为后面进行找正光源做好基础。图十二：干涉镜图十三：反射镜图十四：固定架④、箱中取出线性反射镜（见图十三）及反射镜固定架（见图十四），将其正确组合后固定在被测元素相对主体静止部分永磁体座连接杆上，高度是反射镜中心刚好能够反射激光位置高度。要求：1、线性反射镜箭头方向就是激光行进方向，一定正确组合线性反射镜组。2、反射镜组一条边棱和永磁体座尽可能平行或垂直，这将为后面进行找正光源做好基础。6、找正光源①、被测元素位置确定。确定被测元素相对主体运动部分上面线性干涉镜组距离被测元素相对主体静止部分上面反射镜组最近。②、反射镜组反射光源找正。轻微移动固定有反射镜组永磁体座，使激光束进入反射镜组后正确返回到激光头接收位置点上。③、找正干涉镜干涉后光源。将固定有干涉镜永磁体座加入上步调整好激光束中使其产生干涉行为，轻轻移动永磁体座使干涉后激光束正确返回激光头接收位置点上（此时干涉镜和光束平行边棱应和干涉镜其中一个边棱平行或垂直），找正光源第一步完成。④、远离反射镜组最大位置光源找正。移动被测元素相对主体运动部件远离装有反射镜组相对主体静止部件达成最远处。用长度计量仪器测量相对距离并统计数据，为下一步测量做好基础。依据该激光干涉仪使用中“远调激光，近调镜组”对光标准，观察测量光束和参考光束不重合实际，