激光干涉仪线性测量操作规程.doc

激光干涉仪线性测量操作规程
本规程适用范围：
适用于专职从事激光干涉仪的测量工作。
二、作业前的准备：
熟悉激光干涉仪的正确操作步骤。
检查激光干涉仪机箱中的各个部件、相关配套装置和所需工具是否齐全。
检查供给电源是否为220v，防止缺项、短路的情况发生。
测量前，必须先将机床的参数数据等备份，最好能在硬盘上备份一份，在移动设备上备用一份，以防丢失。严禁对未备份的机床进行补偿。
操作规程：
三脚架安装：
将三脚架（见图一）从箱中取出，三条支撑腿撑开，中间一节拉出、旋紧，放在被测元素前方平整位置，如地面不平，将地面进行处理；如果地面很光滑，则需要用粗糙的麻布垫在三脚架的下面。用钥匙打开仪器箱，从机箱中取出云台自锁螺母旋到三脚架上。

图一：三脚架
2、XL-80激光头的安装、调整：
①、用右手拇指与其余四指分开，正确抓住XL-80激光头（见图二），左手配合将激光头和云台从机箱中取出，左手将云台下方自锁手柄推到松开位置后，置于三脚架的云台（见图三）自锁螺母上，慢慢转动激光头，使自锁手柄与云台自锁螺母正确结合，锁紧手柄自锁。要求：激光头射出的光束应与被测元素相对运动方向平行或一致。

图二：XL-80激光头图三：云台
、释放云台所有旋紧螺钉，使云台各方向行程处于中间位置，锁紧。
③、从机箱中拿出微型水平仪（见图四），置于激光头中间位置，通过三脚架调节激光头的整体水平。

图四:微水平仪
预热激光头：
从机箱中取出激光头电源线和一条XL-XCUSB电缆组件数据线，将其正确插入相应接口，电源插头插入电源，数据线另一端口插入电脑USB接口。打开电源开关，激光头进入预热状态。将激光头的光闸旋转到找正光源状态位置。激光头发射出激光束，但此时的激光束是频闪不稳定状态。
安装补偿单元：
从箱中取出强磁力吸盘（见图五），将其安装在被测元素固定部位处（安装时注意安全，防止吸盘磁力夹手）。

图五：强磁力吸盘
取出材料温度传感器（M）（见图六）和空气温度传感器（A）（见图七）

图六：材料温度传感器图七：空气温度传感器
将材料温度传感器（M）带有传感器一端通过永磁体固定到被测元素的被测材料上，另一端接口通过XC-80补偿器（见图八）的第二、第三或第四个接口与XC-80补偿器相连接，接口插孔一定要正确对正再慢慢旋入。

图八：补偿器和两个温度传感器
将空气温度传感器（A）带有传感器一端通过永磁体固定到被测元素固定表面上，另一端接口与XC-80补偿器的第一个接口（标志为☌）相连接，接口插孔一定要正确对正再慢慢旋入。
XC-80补偿器正确卡入在强磁力吸盘上
取出另一条XL-XCUSB电缆组件数据线（见图九）正确连接到XC-80补偿器和电脑USB接口上。电缆组件数据线

图九：电缆组件数据线
安装光学镜组件：
①、从箱中取出两块永磁体座（见图十）和三个连接杆（见图十一），将连接杆分成两组分别旋在两块永磁体座上，用加力杆旋紧，备用。

图十：永磁体座图十一：连接杆
②、将一永磁体座固定在被测元素相对主体运动部分的适合位置上，另一永磁体座固定在被测元素相对主体静止部分的适合位置上。要求：相对主体运动部件永磁体座在相对主体静止部件永磁体座与激光头之间的位置，并且一定靠近对主体静止部分的最近位置处。
③、取出线性干涉镜（见图十二）、参考反射镜（见图十三）和干涉镜固定架（见图十四），待激光头发出激光后，将其正确组合后固定在被测元素相对主体运动部分永磁体座的连接杆上，高度是激光头发射的激光刚好从中心穿过的高度。要求：1、干涉镜箭头方向就是激光行进方向，一定正确组合干涉镜组。2、干涉镜的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直，这将为后面进行找正光源做好基础。

图十二：干涉镜图十三：反射镜 图十四：固定架
④、箱中取出线性反射镜（见图十三）及反射镜固定架（见图十四），将其正确组合后固定在被测元素相对主体静止部分永磁体座的连接杆上，高度是反射镜中心刚好能够反射激光的位置高度。要求：1、线性反射镜箭头方向就是激光行进方向，一定正确组合线性反射镜组。2、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直，这将为后面进行找正光源做好基础。
6、找正光源
①、被测元素位置确认。确认被测元素相对主体运动部分上面的线性干涉镜组距离被测元素相对主体静止部分上面的反射镜组最近。
②、反射镜组的反射光源找正。轻微移动固定有反射镜组的永磁体座，使激光束进入反射镜组后正确返回到激光头接收位置点上。
③、找正干涉镜的干涉后光源。将固定有干涉镜的永磁体座加入上步调整好的激光束中使其产生干涉行为，轻轻移动永磁体座使干涉后的激光束正确返回激光头接收位置点上（此时干涉镜与光束平行的边棱应与干涉镜的其中一个边棱平行或垂直），找正光源第一步完成。
④、远离反射镜组最大位置的光源找正。移动被测元素相对主体运动部件远离装有反射镜