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123456温度:800~1200ºC,形成所谓高温氧化层(HighTemperatureOxidelayer,HTO)。可用水蒸气或氧气作为氧化剂,称为湿氧化或干氧化(wetordryoxidation)。氧化环境中通常含有百分之几的盐酸(HCl),用于去除氧化物中的金属离子。891011121314151617181920212223242526272829302024/2/93233343536373839404142434445464748495051525354555657585960612024/2/9