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化学气相沉积技术ppt课件.ppt
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123456温度：800~1200ºC，形成所谓高温氧化层（HighTemperatureOxidelayer，HTO）。可用水蒸气或氧气作为氧化剂，称为湿氧化或干氧化（wetordryoxidation）。氧化环境中通常含有百分之几的盐酸（HCl），用于去除氧化物中的金属离子。891011121314151617181920212223242526272829302024/8/1132333435363738394041424344454647484950515253545556575859606120
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