采用真空烧结工艺制备金属钨及钒钨合金靶材.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105463387A(43)申请公布日2016.04.06(21)申请号201610044279.2(22)申请日2016.01.22(71)申请人基迈克材料科技（苏州）有限公司地址215214江苏省苏州市吴江市汾湖经济开发区汾杨路东侧(72)发明人贾泽夏庄志杰顾宗慧(74)专利代理机构上海申新律师事务所31272代理人郭春远(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)C22C1/04(2006.01)B22F3/16(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称采用真空烧结工艺制备金属钨及钒钨合金靶材(57)摘要采用真空烧结工艺制备金属钨及钒钨合金靶材,制备工艺流程步骤依次为：选取纯度≥99.95％，粒度≤5μm的金属钨粉或钒钨合金粉为原料，使用造粒设备将其制成1～3mm粒子，填入模具内振实；等静压压制成型，真空烧结完成后，静置冷却获得靶材成品；粉体先制粒后等静压烧结，工艺简单易行，操作方便，易控制；制备所得的靶材溅射性能优良，杂质少，靶材均匀性好，稳定性高。满足热致变色应用，也适用于光学镀膜。CN105463387ACN105463387A权利要求书1/1页1.采用真空烧结工艺制备金属钨及钒钨合金靶材,其特征在于，制备工艺流程步骤依次为：选取纯度≥99.95％，粒度≤5μm的金属钨粉或钒钨合金粉为原料，使用造粒设备将其制成1～3mm粒子，填入模具内振实；等静压压制成型，真空烧结完成后，静置冷却获得靶材成品；具体包含以下步骤：1)选取纯度≥99.95％，粒度≤5μm的金属钨粉或钒钨合金粉为原料，经过进料检验合格后，对于纯金属钨粉体，使用造粒设备将粉体制成1～3mm的粉体粒子；对于钒钨合金粉体，按比例称量好，钒粉和钨粉的比例范围为49:1～9:1，使用混粉造粒设备将其混合均匀并制成1～3mm的粉体粒子；2)将规定尺寸的模具安装在机械装备上，将步骤1)中制成的粉体粒子填入模具内，并使用机械装置上下振实；3)将装好粉体粒子的模具放入等静压设备中压制成型，压力范围为180MPa～240MPa；4)等静压完成后，从模具中取出初成型的靶材，放至真空烧结炉中进行烧制，烧结温度范围为1600℃～2800℃，保温5～10h；5)烧结完成后，从真空烧结炉中取出靶材，静置冷却后对其进行必要的加工即可获得靶材成品。2.如权利要求1所述的采用真空烧结工艺制备金属钨及钒钨合金靶材，其特征在于，所制备靶材为金属靶材，选取靶材材料为金属钨粉或钒钨合金粉，粉体纯度≥99.95％，粒度≤5μm。2CN105463387A说明书1/3页采用真空烧结工艺制备金属钨及钒钨合金靶材技术领域[0001]本发明涉及IPC分类中C23C溅射法镀覆技术，属于应用于热功能材料领域高新技术材料，尤其是采用真空烧结工艺制备金属钨及钒钨合金靶材。背景技术[0002]在现有建筑技术中，经由窗玻璃进行的室内外的热量交换是主要的冷/热损耗途径，尤其是随着全球气候变暖，在此状况下，安装和运行中的空调系统所浪费和消耗的电能也居高不下。[0003]作为重要的改进技术手段之一，人们迫切希望可以设计出一种智能窗来改变这种情况。智能窗可以通过在玻璃上镀上一层变色薄膜来实现。随着外部环境的改变，薄膜的光学性质也会发生改变。用于制造智能窗的变色薄膜可分为电致变色(EC)，热致变色(TC)，光致变色(PC)和气致变色(GC)。其中，热致变色薄膜是目前极具潜力和实用价值的智能窗材料。因此，开发具有热致变色特性的天然高分子材料，能够满足高温遮光、低温透光，显然非常符合现代化社会对于绿色环保的需求。[0004]热致变色材料是一种记忆功能绿色环保材料，是指一些化合物或混合物在受热或冷却时可见吸收光谱发生变化的功能材料，它具有颜色随温度改变而变化的特性，可以随温度变化而自动调节入射光的强度。这种材料广泛应用于工业、纺织、军事、印刷、医疗保健、诊断、建筑、防伪标记、日用装饰、航空航天等各个领域。[0005]热致变色材料一般需要经过镀膜制得，热致变色薄膜的制备中溅射靶材是真空镀膜的原材料，溅射靶材的纯度、密度直接影响镀膜的成分和综合性能。[0006]能用于智能遮阳窗户的材料很多，但大部分原材料成本高、制备工艺复杂。[0007]目前公开的相关技术方案较少。例如：中国专利申请201510318834.1提供了一种钒钨合金靶材及其制备方法，该靶材由钒粉、钨粉及粘结剂制作组成，其中钒粉与钨粉的质量配比为19:1～3:2，所述钒粉与钨粉的纯度大于99.5％。该制备方法包括以下步骤：按比例称取钒粉与钨粉，并将两者充分混匀；将混匀的钒粉和钨粉加入粘结剂进一步混匀，并处理得到干燥的钒钨粉与粘结剂的复合粉末材料；将步骤(2)的复