一种钒钨合金靶材及其制备方法.pdf
淑然****by
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一种钒钨合金靶材及其制备方法.pdf
本发明提供了一种钒钨合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、钨粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与钨粉的质量配比为19:1~3:2,所述钒粉与钨粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与钨粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和钨粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒钨粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钨合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压
一种钒硅合金靶材及其制备方法.pdf
本发明提供了一种钒硅合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、硅粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与硅粉的质量配比为19:1~3:2,所述钒粉与硅粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与硅粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和硅粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒硅粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒硅合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压
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