用于从载流子生成空间提取载流子的设备以及用于运行这种设备的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107112177A(43)申请公布日2017.08.29(21)申请号201680005175.9(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专(22)申请日2016.01.06利商标事务所11038代理人李骏(30)优先权数据15150613.62015.01.09EP(51)Int.Cl.H01J27/02(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2017.07.07(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2016/0501212016.01.06(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/110505DE2016.07.14(71)申请人迈尔博尔格(德国)股份公司地址德国霍恩施泰因-恩斯塔尔(72)发明人J·马伊A·卢卡M·萨斯特德特权利要求书3页说明书16页附图11页(54)发明名称形成，并且所述第二层部分与所述第二栅电极的用于从载流子生成空间提取载流子的设备所述至少一个第一栅电极区域导电连接。根据本以及用于运行这种设备的方法发明的用于提取载流子的设备因此是可电气切(57)摘要换的提取栅电极装置，借助所述设备能够改变由本发明涉及一种用于从载流子生成空间提提取的载流子构成的粒子射束的射束特性。取载流子的设备，其具有至少一个用于提取载流子的电极装置，其中，所述至少一个电极装置至少具有一个第一栅电极和一个第二栅电极，它们具有相对应的开口。所述第一和第二栅电极分别包含至少一个导电的第一栅电极区域，其中，所述第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域构成在第一层中，而所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域构成在第二层中。第一层和第二层沿粒子出射方向依次设置在电极装置内部并且相互间通过第一间距沿着粒子出射方向间隔开，其中，所述第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域在所述第一层中形成导电的第一层部分。此外，在所述第一层中构成有导电的第二层部分，该第二层部分与第一层部分电绝缘。所述第二层部分通过所述第一栅电极或所述CN107112177A第二栅电极的至少一个导电的第二栅电极区域CN107112177A权利要求书1/3页1.用于从载流子生成空间提取载流子的设备，该设备具有用于提取载流子的至少一个电极装置，其中，所述至少一个电极装置至少具有一个第一栅电极和一个第二栅电极，所述第一栅电极和第二栅电极具有相对应的开口，所述第一栅电极和第二栅电极分别包含至少一个导电的第一栅电极区域，其中，第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域构成在第一层中，而第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域构成在第二层中，其中，所述第一层和所述第二层沿粒子出射方向依次设置在电极装置内部并且相互间沿着粒子出射方向通过第一间距间隔开，其中，所述第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域在第一层中形成导电的第一层部分，并且在第一层中构成有导电的第二层部分，其中，第一层部分和第二层部分彼此电绝缘，其特征在于，所述第二层部分通过所述第一栅电极的或所述第二栅电极的至少一个导电的第二栅电极区域形成，并且所述第二层部分与所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域导电连接。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域和所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域在相应的栅电极内部设置成，使得它们分别邻接于相应的栅电极的横向外周边。3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述第一栅电极仅包括所述至少一个第一栅电极区域，而所述第二栅电极包括至少一个第二栅电极区域，该第二栅电极区域形成所述第一层的第二层部分。4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述第二栅电极的所述至少一个第二栅电极区域构成为这样厚的，使得所述至少一个第二栅电极区域的第一表面位于第一层中，并且所述至少一个第二栅电极区域的第二表面位于第二层中，所述第二表面与第一表面相对置。5.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述第二栅电极的所述至少一个第二栅电极区域具有与所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域相同的厚度。6.根据权利要求3至5之一所述的设备，其特征在于，在所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域和所述第二栅电极的所述至少一个第二栅电极区域之间的过渡部在所述第二栅电极的两个表面上连续地伸展。7.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域完全地形成第二层，而所述第二栅电极的所述至少一个第二栅电极区域至少在所述第二栅电极区域的一些横向部段中与所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域间隔开。8.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述第一栅电极还包括至少一个第二栅电极区域，该第二栅电极区域形成所述第一层的第二层部分。9.根据上述权利要求之一所