钼铌合金靶材及其制备方法、黑化膜.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111058003A(43)申请公布日2020.04.24(21)申请号201911190147.0B22F3/04(2006.01)(22)申请日2019.11.28B22F3/15(2006.01)C23C14/14(2006.01)(71)申请人基迈克材料科技(苏州)有限公司地址215200江苏省苏州市吴江区汾湖经济开发区汾杨路东侧(72)发明人程银兵周钧庄猛庄志杰(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人杜帅(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)C22C27/04(2006.01)C22C32/00(2006.01)B22F1/00(2006.01)B22F9/04(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称钼铌合金靶材及其制备方法、黑化膜(57)摘要本发明涉及一种钼铌合金靶材及其制备方法、黑化膜。其中，钼铌合金靶材包括如下质量份的原料组分：钼45-89.1份、铌5-9.9份以及金属氧化物1-50份；其中，所述金属氧化物选自氧化铝和氧化锌中的至少一种。上述钼铌合金靶材的原料组分配比合理，在传统的钼铌合金靶材的基础上，添加至少一种上述金属氧化物，经实验验证，经上述钼铌合金靶材最终制得的黑化膜可以减少或消除电子产品表面的反射光，增加透光量，减少杂散光吸收。CN111058003ACN111058003A权利要求书1/1页1.一种钼铌合金靶材，其特征在于，包括如下质量份的原料组分：钼45-89.1份、铌5-9.9份、以及金属氧化物1-50份；其中，所述金属氧化物选自氧化铝和氧化锌中的至少一种。2.根据权利要求1所述的钼铌合金靶材，其特征在于，所述金属氧化物为氧化铝和氧化锌构成的混合金属氧化物，所述氧化锌与所述氧化铝的质量比为1:99-99:1。3.根据权利要求1所述的钼铌合金靶材，其特征在于，所述氧化铝为平均粒径为0.01μm-5μm的氧化铝粉，和/或所述氧化锌为平均粒径为0.01μm-10μm的氧化锌粉。4.根据权利要求1-3任一项所述的钼铌合金靶材，其特征在于，所述钼为平均粒径为0.1μm-10μm的钼粉。5.根据权利要求1-3任一项所述的钼铌合金靶材，其特征在于，所述铌为平均粒径为0.1μm-150μm的铌粉。6.一种钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将权利要求1-5任一项所述的钼铌合金靶材中的原料组分按配比混合和球磨处理得到预混料；将所述预混料冷等静压处理，得到钼铌合金管靶或平面靶材素坯；对所述钼铌合金管靶或平面靶材素坯进行热等静压处理，得到钼铌合金靶材。7.根据权利要求6所述的钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，在将所述钼铌合金靶材中的原料按配比混合和球磨处理得到预混料的步骤中，是将所述钼铌合金靶材中的原料钼和铌混合、球磨处理得到钼铌混料，对所述钼铌混料与所述钼铌合金靶材中的其余原料混合，球磨处理得到预混料。8.根据权利要求6所述的钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，所述冷等静压的压力为100Mpa-140Mpa，和/或所述热等静压的压力为100Mpa-150Mpa，所述热等静压的温度为1000℃-1500℃。9.根据权利要求6-8任一项所述的钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，在对所述钼铌合金管靶或平面靶材素坯进行热等静压处理的步骤中，是将所述钼铌合金管靶或平面靶材素坯装入包套中，热等静压处理，去除包套得到钼铌合金靶材。10.一种黑化膜，其特征在于，将权利要求1-5任一项所述的钼铌合金靶材或将权利要求6-9任一项所述的钼铌合金靶材的制备方法制得的靶材溅靶制得。2CN111058003A说明书1/4页钼铌合金靶材及其制备方法、黑化膜技术领域[0001]本发明涉及改善黑化膜效果的钼铌合金材料领域，特别是涉及一种钼铌合金靶材及其制备方法、黑化膜。背景技术[0002]黑化膜通常位于液晶电视、平板电视、手机等电子产品玻璃面板的表面，黑化膜用于窄边框屏或减反射膜，其制备方法通常采用合金靶材溅靶制得。[0003]传统的覆于电子产品玻璃面板表面的黑化膜对光的反射强，透光量少，产品中易吸收大量的杂散光。这样不仅影响视觉体验，甚至对眼睛造成伤害。亟需一种能够降低电子产品玻璃面板表面的反光率，减少吸收大量的杂散光的黑化膜。发明内容[0004]基于此，有必要提供一种能够降低反光率、增大透光量且减少杂散光吸收的钼铌合金靶材及其制备方法、黑化膜。[0005]一种钼铌合金靶材，其包括如下质量份的原料组分：[0006]钼45-89.1份、[0007]铌5-9.9份、以及[0008]金属氧化物1-50份；[0009]其中，所述金属氧化物选自氧化铝和氧化锌中的至少一种。[0010]上述钼铌