太赫兹波长共光路干涉法测量装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111982312A(43)申请公布日2020.11.24(21)申请号202010672979.2(22)申请日2020.07.14(71)申请人杭州璟仪科技有限公司地址310018浙江省杭州市江干区钱塘新区宝龙商业中心1幢810室(72)发明人方波王璇(74)专利代理机构北京中济纬天专利代理有限公司11429代理人王会祥(51)Int.Cl.G01J9/02(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图7页(54)发明名称太赫兹波长共光路干涉法测量装置(57)摘要本发明涉及光学计量技术领域，所述测量装置具有一迈克尔逊干涉法太赫兹波长测量光学系统，且该系统具有一支撑平台，在该支撑平台上依次配置有太赫兹探测器、激光探测器、太赫兹源、激光器、90°离轴抛物面镜、光阑、扩束镜、分束镜和反射镜；其中，激光器发射参考激光，且与太赫兹源发射的太赫兹光共光路，因此待测太赫兹光和参考激光所经过的相对运动距离相同，即待测太赫兹波长求解所需的光程差可以利用参考干涉系统求取，从而消除了移动平台运动不稳定性带来的误差。通过防摔装置的设置，当工作模块意外倾倒时，倾倒方向一侧的防摔区启动，将缓冲装置快速张开形成防护，过程短，速度快，防护面积大，因而，防护效果有保证，避免将此类精密装置损坏，而带来高成本的维护。CN111982312ACN111982312A权利要求书1/1页1.太赫兹波长共光路干涉法测量装置，其特征在于：所述测量装置具有一迈克尔逊干涉法太赫兹波长测量光学系统，且该系统具有一支撑平台，在该支撑平台上依次配置有太赫兹探测器、激光探测器、太赫兹源、激光器、90°离轴抛物面镜、光阑、扩束镜、分束镜和反射镜；其中，激光器发射参考激光，且与太赫兹源发射的太赫兹光共光路，因此待测太赫兹光和参考激光所经过的相对运动距离相同，即待测太赫兹波长求解所需的光程差可以利用参考干涉系统求取，从而消除了移动平台运动不稳定性带来的误差；所述太赫兹源和激光器均具有工作模块(10)，在工作模块(10)的前端镜头外侧加装一镜头防护装置(20)；所述镜头防护装置(20)包括支撑架构(21)、设置在支撑架构(21)前端的防护组件(22)和连接在支撑架构(21)上的传动机构(23)，其中：所述支撑架构(21)包括外壳(211)、位于外壳(211)内腔的光线导筒(212)，所述光线导筒(212)一端抵触在工作模块(10)的前端镜头的外围，另一端另设有一转换镜头(213)，所述外壳(211)通过连接构件连接在工作模块(10)的侧部；防护组件(22)包括卡合板(221)、设在卡合板(221)内侧壁上的第一清洁组件(222)、与第一清洁组件(222)相对设置的第二清洁组件(223)；所述传动机构(23)包括拨叉(231)、拨动连接在拨叉(231)下方的推动套筒(232)、与推动套筒(232)通过传动螺纹连接的转筒(233)、固定连接在转筒(233)外部的推动机构(234)，该推动机构(234)包括转环(2341)、一端抵触在转环(2341)上的推杆(2342)、连接在推杆(2342)另一端的倾斜齿板(2343)，且该倾斜齿板(2343)与固定连接在转筒(233)外侧的旋转齿轮(2344)啮合传动；其中，所述转筒(233)通过轴承与所述光线导筒(212)旋转连接；所述卡合板(221)采用三块，且滑动连接在光线导筒(212)端部的凸缘上，在卡合板(221)内壁上设有齿槽，并通过齿槽与所述旋转齿轮(2344)啮合传动，该旋转齿轮(2344)向一个方向旋转时，卡合板(221)打开，在旋转齿轮(2344)向另一个方向旋转时，卡合板(221)闭合；所述第一清洁组件(222)与第二清洁组件(223)结构一致，其中，第一清洁组件包括弹性压条、及设在弹性压条前端的清洁头，该清洁头压触在转换镜头(213)前端，且清洁头与弹性压条可拆卸式连接。2.根据权利要求1所述的太赫兹波长共光路干涉法测量装置，其特征在于：在太赫兹源和激光器上端周边加装有一防摔装置(30)，该防摔装置(30)包括第一防摔区(31)、与第一防摔区(31)垂直相通的第二防摔区(32)；所述第一防摔区(31)开设有一通道，在通道底部沿长度方向开设有导向槽，在导向槽内设有一滚动球(311)，在滚动球(311)前方设有一翘板(312)，在翘板(312)前方设有滑筒(313)，该滑筒(313)滑动连接在支撑板(314)上，且通过弹珠机构(315)定位，在滑筒(313)上套设有弹射装置(316)，所述滑筒(313)外端部设有容置槽，在容置槽内收束有缓冲装置(317)。3.根据权利要求2所述的太赫兹波长共光路干涉法测量装置，其特征在于：所述翘板(312)两侧均开设有弧形槽(3