基于迈克尔逊干涉的太赫兹波长双路测量装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112414566A(43)申请公布日2021.02.26(21)申请号202011228186.8(22)申请日2020.11.06(71)申请人浙江知屹科技有限公司地址310000浙江省杭州市钱塘新区白杨街道19号大街98-1号楼（南北）331(72)发明人方波邬佳璐叶亮成丁佳文于建(74)专利代理机构杭州惟臻专利代理事务所(普通合伙)33398代理人陈辉(51)Int.Cl.G01J9/02(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称基于迈克尔逊干涉的太赫兹波长双路测量装置(57)摘要本发明涉及光学计量技术领域，提供了一种基于迈克尔逊干涉的太赫兹波长双路测量装置，包括太赫兹光路模块、激光光路模块、移动平台及计算机。太赫兹光路模块可以测量太赫兹光产生的干涉条纹变化数，激光光路模块可以测量激光产生的干涉条纹变化数，移动平台可以对反射镜进行一维移动，计算机可以控制移动平台移动和处理探测器接收的信号，计算得到太赫兹波长。通过本发明，测量装置结构简单，方法便捷，测量结果可靠性高，便于进一步对太赫兹波长溯源。CN112414566ACN112414566A权利要求书1/1页1.一种基于迈克尔逊干涉的太赫兹波长双路测量装置，其特征在于，包括太赫兹光路模块、激光光路模块、移动平台及计算机；所述太赫兹光路模块包括太赫兹源(1)、光阑(2)、离轴抛物面镜(3)、第一分束镜(4)、透镜(5)、第一探测器(6)、第一反射镜(7)、第二反射镜(8)；太赫兹源(1)发射出太赫兹光经过光阑(2)调节光束强弱，到达离轴抛物面镜(3)后实现准直，在第一分束镜(4)处分为透射光和反射光，透射光和反射光分别经由第一反射镜(7)和第二反射镜(8)反射后到达第一分束镜(4)实现合束，在透镜(5)处光束会聚后直接入射至第一探测器(6)，采集实时的干涉条纹；所述激光光路模块包括激光器(9)、准直镜(10)、第二分束镜(11)、第二探测器(12)、第三反射镜(13)、第四反射镜(14)；激光器(9)发射出激光经过准直镜(10)优化光束准直性后，在第二分束镜(11)处分为反射光和透射光，反射光和透射光分别经由第三反射镜(13)和第四反射镜(14)反射后到达第二分束镜(11)实现合束，由第二探测器(12)接收产生的干涉条纹；所述移动平台(15)用固定第二反射镜(7)、第三反射镜(13)进行一维移动；所述计算机用于控制移动平台(15)移动和处理第一探测器(6)、第二探测器(12)接收的信号，计算得到太赫兹波长。2.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉的太赫兹波长双路测量装置，其特征在于所述移动平台(15)同时带动固定的两个反射镜沿导轨水平方向x轴移动，两个反射镜位移量相同。3.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉的太赫兹波长双路测量装置，其特征在于太赫兹波长由移动平台位移量和激光波长得出：其中，N0为激光光路模块的条纹变化数，NT为太赫兹光路模块的条纹变化数，λ0为激光器发射的激光波长。2CN112414566A说明书1/3页基于迈克尔逊干涉的太赫兹波长双路测量装置技术领域[0001]本发明涉及光学计量技术领域，涉及太赫兹波长的检测与校准，具体是一种基于迈克尔逊干涉的太赫兹波长双路测量装置。背景技术[0002]太赫兹指的是频率为0.1-10THz，波长为0.03-3mm的电磁波，正好处于科学技术发展相对较好的微波毫米波与红外线光学之间。太赫兹具有瞬态性、宽带性、相干性、低能性等特点，常常作为新的技术手段应用在物质成分识别、高速通信、生物医学、安检成像和军事国防等重要领域。[0003]波长是电磁波重要的基本参数之一，但是由于适用于太赫兹频段材料及器件的缺乏，测量方法及技术与长波的微波波段及短波的红外波段相比发展较为落后，因此需要探索满足太赫兹波段波长测量的方法与工具。研究太赫兹波长精确测量方法，对于推动太赫兹技术的发展，扩展太赫兹的应用范围具有十分重要的意义。[0004]太赫兹波长测量仪按测量原理可分为法布里-玻罗干涉式、斐索干涉式、迈克尔逊干涉式、外差混频式、光栅分光式等几种类型。其中迈克尔逊干涉式因其原理简单、结构紧凑且可应用于自由空间而被广泛用于太赫兹波长测量。发明内容[0005]本发明的目的在于提供一种基于迈克尔逊干涉的太赫兹波长双路测量装置，以解决上述背景技术中提出的问题。[0006]本发明的技术方案是：一种基于迈克尔逊干涉的太赫兹波长双路测量装置，其特征在于，包括太赫兹光路模块、激光光路模块、移动平台及计算机。[0007]所述太赫兹光路模块包括太赫兹源、光阑、离轴抛物面镜、第一分束镜、透镜、第一探测器、第一反射镜、第二反射镜；太赫兹源发射出太赫兹光经过光阑调