一种基于迈克尔逊干涉仪的光波长自动测量装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116164849A(43)申请公布日2023.05.26(21)申请号202211486790.X(22)申请日2022.11.25(71)申请人西安工业大学地址710000陕西省西安市金花北路4号(72)发明人党晨(74)专利代理机构深圳科润知识产权代理事务所(普通合伙)44724专利代理师陈祺(51)Int.Cl.G01J9/02(2006.01)G09B23/22(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称一种基于迈克尔逊干涉仪的光波长自动测量装置(57)摘要本发明涉及光学测量设备技术领域，公开了一种基于迈克尔逊干涉仪的光波长自动测量装置，包括：探测机构，设置于所述架体的一端，且所述探测机构通过一端的架体；测量平台，设置于所述架体的另一端；激光器，设置于所述架体的一侧，所述激光器的输出端位于架体上的分束板与补偿板一侧；磁力驱动装置，磁力驱动装置包括安装支架机构和以及设置在安装支架机构的内部设置有驱动结构；本发明通过调节手柄，使探头快速移动到干涉光斑的中心位置处，该操作可以使干涉光路的调节更为简单，降低实验操作难度，同时使用非接触式的磁力驱动装置，有效的降低机械震动带来的干涉光斑模糊，且以步进电机为动力源，非接触式传动，极大的提高了实验精度。CN116164849ACN116164849A权利要求书1/1页1.一种基于迈克尔逊干涉仪的光波长自动测量装置，应用于光学测量设备上，该测量装置具有架体(1)及设置在架体(1)上的观察窗以及CCD(3)，其特征在于，该测量装置包括：探测机构(2)，设置于所述架体(1)的一端，且所述探测机构通过一端的架体；测量平台(6)，设置于所述架体(1)的另一端；激光器(4)，设置于所述架体(1)的一侧，且所述激光器的输出端位于架体(1)上的分束板与补偿板一侧；磁力驱动装置，磁力驱动装置包括安装支架机构(5)和以及设置在安装支架机构(5)的内部设置有驱动结构，所述安装支架机构(5)设置于所述架体(1)的另一端；所述安装支架机构(5)包括壳体(51)、电机固定板(52)和支撑架(54)，所述壳体(51)的内侧设置有驱动结构安装腔(53)，所述电机固定板(52)设置在壳体(51)的一端；所述驱动结构包括电机驱动转子(55)和微调手轮转子(56)，所述电机驱动转子(55)设置在壳体(51)内侧，所述微调手轮转子(56)设置在电机驱动转子(55)的内侧。2.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉仪的光波长自动测量装置，其特征在于：所述壳体(51)固定连接在支撑架(54)的顶部，所述电机固定板(52)在位于壳体(51)一端的同时安装在支撑架(54)的顶部。3.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉仪的光波长自动测量装置，其特征在于：所述电机驱动转子(55)的侧壁开设有若干第一磁钢安装孔(551)，所述微调手轮转子(56)的一端内侧设置有第二磁钢安装孔(561)。4.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉仪的光波长自动测量装置，其特征在于：所述架体(1)呈条形结构，且所述架体(1)底部安装有圆台形状的底座，且所述观察窗以及CCD(3)其中的观察窗设置在架体(1)的一端，且CCD设置在观察窗一端的上侧。5.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉仪的光波长自动测量装置，其特征在于：所述探测机构(2)包括观察屏结构(21)、可拆卸遮光筒(22)、调节手柄(23)和组装式探测器安装结构(24)，所述可拆卸遮光筒(22)安装在观察屏结构(21)的一端，所述调节手柄(23)安装在观察屏结构(21)的另一端，所述组装式探测器安装结构(24)安装在观察屏结构(21)一端，且与可拆卸遮光筒(22)位于同一侧。6.根据权利要求5所述的一种基于迈克尔逊干涉仪的光波长自动测量装置，其特征在于：所述观察屏结构(21)的底部过渡连接有支撑柱。7.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉仪的光波长自动测量装置，其特征在于：所述激光器(4)采用的为He‑Ne激光器。8.根据权利要求1所述的一种基于迈克尔逊干涉仪的光波长自动测量装置，其特征在于：所述测量平台(6)包括单片机、触控屏、步进电机控制器、开关电源、扬声器、液晶显示模块和亚克力外壳，液晶显示模块安装在触控屏一端，所述触控屏安装在亚克力外壳的前端一侧，所述扬声器安装在亚克力外壳内壁且侧壁具有槽孔的位置。9.根据权利要求8所述的一种基于迈克尔逊干涉仪的光波长自动测量装置，其特征在于：所述步进电机控制器、开关电源、扬声器、触控屏和液晶显示模块分别与单片机相连接，且单片机安装在亚克力外壳的内部，所述步进电机控制器和开关电源分别安装在亚克力外壳的表面。2CN116164849A说明书1/5页一种基于