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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113008796A(43)申请公布日2021.06.22(21)申请号202110238855.8(22)申请日2021.03.03(71)申请人赤壁精迈光电科技有限公司地址437315湖北省咸宁市赤壁市中伙铺镇高新区美丽健康产业园33栋(72)发明人冯胜翟中生王选择谢博娅(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人吴敏(51)Int.Cl.G01N21/01(2006.01)G01N21/95(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图5页(54)发明名称亚表面缺陷的检测装置(57)摘要一种亚表面缺陷的检测装置,包括:光源组件,所述光源组件适宜于产生照明光,所述照明光为发散光;所述照明光耦合入待检测件中以形成波导光,所述波导光在所述待检测件中以导波模式传播;成像组件,所述成像组件包括:面阵图像传感器,所述面阵图像传感器适宜于采集被散射的波导光以获得缺陷图像;处理组件,所述处理组件适宜于对所述缺陷图像进行处理。所述检测装置能够实现多角度检测以提高成像效率;而且,成像组件中采用面阵图像传感器获得缺陷图像,配合呈发散光的照明光,能够避免扫描的方式的引用,从而避免机械振动干扰、降低同步控制难度。CN113008796ACN113008796A权利要求书1/2页1.一种亚表面缺陷的检测装置,其特征在于,包括:光源组件,所述光源组件适宜于产生照明光,所述照明光为发散光;所述照明光耦合入待检测件中以形成波导光,所述波导光在所述待检测件中以导波模式传播;成像组件,所述成像组件包括:面阵图像传感器,所述面阵图像传感器适宜于采集被散射的波导光以获得缺陷图像;处理组件,所述处理组件适宜于对所述缺陷图像进行处理。2.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述待检测件包括:相背设置且相互分离的第一表面和第二表面、以及位于所述第一表面和第二表面之间的侧面,所述侧面与所述第一表面和第二表面均相交;所述照明光经所述侧面耦合入所述待检测件以形成波导光。3.如权利要求2所述的检测装置,其特征在于,所述照明光无接触耦合入所述待检测件的侧面。4.如权利要求1~3中任一项所述的检测装置,其特征在于,所述成像组件包括:至少2个面阵图像传感器。5.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述光源组件为点状光源组件、一维点阵光源组件或线光源组件。6.如权利要求5所述的检测装置,其特征在于,所述光源组件为垂直所述发散面的一维点阵光源组件;或者,所述光源组件为垂直所述发散面的线状光源组件。7.如权利要求5所述的检测装置,其特征在于,所述光源组件包括:发光模块,所述发光模块适宜于产生光线;耦合模块,所述耦合模块适宜于对所述发光模块所产生的光线整形以形成所述照明光。8.如权利要求7所述的检测装置,其特征在于,所述耦合模块包括:光纤、光波导或柱状透镜中的至少一个。9.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,还包括:辅助光源组件,所述辅助光源组件适宜于产生分别投射至第一表面和第二表面的辅助照明光。10.如权利要求9所述的检测装置,其特征在于,所述辅助照明光掠入射至所述第一表面和所述第二表面。11.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述待检测件中,沿导波延伸方向的尺寸为所述待检测件的长度,垂直波导延伸方向且垂直第一表面和第二表面中至少一个的尺寸为所述待检测件的厚度;所述待检测件的长度大于所述待检测件的厚度。12.如权利要求11所述的检测装置,其特征在于,所述照明光至少在发散面内具有预设发散角,其中所述发散面垂直所述第一表面或第二表面中至少一个;所述照明光的发散角为α=2tan‑1(D/2R),其中D为垂直导波延伸方向且平行所述发散面的所述待检测件的尺寸,R为所述光源组件光线出射的端面至所述待检测件的距离。13.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,还包括:输送组件,所述输送组件适宜2CN113008796A权利要求书2/2页于将所述待检测件送入检测位置。14.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述处理组件包括:图像处理单元,所述图像处理单元适宜于对所述缺陷图像进行预处理;识别单元,所述识别单元适宜于对经预处理的缺陷图像中的缺陷进行识别。3CN113008796A说明书1/8页亚表面缺陷的检测装置技术领域[0001]本发明涉及缺陷检测领域,特别涉及一种亚表面缺陷的检测装置。背景技术[0002]大型高功率激光装置如美国国家点火装置、法国兆焦耳激光装置以及中国神光系列装置等通常都需要使用一定数量的大口径光学元件。光学元件的缺陷不仅影响了其长期稳定性、镀膜质量和面形精度,而且直接降低了光学系统的抗激光损伤阈值,影响了其光束质量和使用寿命。对光学元件的亚表面成像,特别是针对亚表面