ZMO靶材及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113073302A(43)申请公布日2021.07.06(21)申请号202110381326.3(22)申请日2021.04.09(71)申请人基迈克材料科技（苏州）有限公司地址215200江苏省苏州市吴江区汾湖经济开发区汾杨路东侧(72)发明人张玉玲甘志俭(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人孔令聪(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)C23C14/08(2006.01)C23C4/10(2016.01)C23C4/16(2016.01)权利要求书1页说明书8页附图1页(54)发明名称ZMO靶材及其制备方法(57)摘要本发明涉及一种ZMO靶材及其制备方法。ZMO靶材的制备方法包括如下步骤：将ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散剂、粘接剂和水混合均匀，研磨后得到浆料；将浆料进行喷雾造粒，得到ZMO粉体；将ZMO粉体进行烧结，得到ZMO烧结粉体；在保护气体氛围下，将ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，得到ZMO靶坯；以及将ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到ZMO靶材。上述ZMO靶材的制备方法工艺简单，有利于提高生产效率。经试验证明，本发明的上述ZMO靶材的制备方法制备得到ZMO靶材的相对密度≥90％，ZMO靶材的电阻率≤5×10‑3Ω·cm，因此，通过上述ZMO靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ZMO靶材。此外，本发明还涉及一种ZMO靶材的制备方法。CN113073302ACN113073302A权利要求书1/1页1.一种ZMO靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散剂、粘接剂和水混合均匀，研磨后得到浆料；将所述浆料进行喷雾造粒，得到ZMO粉体；将所述ZMO粉体进行烧结，得到ZMO烧结粉体；在保护气体氛围下，将所述ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，得到ZMO靶坯；以及将所述ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到ZMO靶材。2.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述ZnO粉末、所述MgO粉末、所述Al2O3粉末、所述分散剂、所述粘接剂与所述水的质量比为(80～85)：(15～20)：(0.1～1)：(0.5～5)：(0.5～5)：(90～99)。3.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述研磨的操作为：进行两次球磨，第一次球磨的转速为200r/min～300r/min，第一次球磨的时间为9h～10h；第二次球磨的转速为150r/min～200r/min，第一次球磨的时间为1h～2h。4.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述喷雾造粒的温度为200℃～300℃。5.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述烧结的温度为1000℃～1300℃，保温时间为6h～8h。6.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述保护气体为惰性气体或者氮气。7.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，将所述ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上的操作中，采用喷枪将所述ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，所述背靶的旋转速度为40r/min～100r/min，所述喷枪与所述背靶外表面的距离为100mm～150mm，所述喷枪的移动速度为400mm/min～600mm/min。8.根据权利要求1～7中任一项所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述分散剂选自聚丙烯酰胺、聚羧酸铵盐、聚乙烯羧酸类和硬脂酸盐类中的至少一种。9.根据权利要求1～7中任一项所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述粘接剂选自聚乙烯醇、丙烯酸乳液、羧甲基纤维素和聚丙烯酸酯中的至少一种。10.一种ZMO靶材，其特征在于，ZMO靶材由权利要求1～9中任一项所述的ZMO靶材的制备方法制备得到。2CN113073302A说明书1/8页ZMO靶材及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及靶材技术领域，特别是涉及一种ZMO靶材及其制备方法。背景技术[0002]溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。磁控溅射镀膜因具有低温和快速两大优点而被广泛应用，溅射镀膜对使用的靶材要求是晶粒细小且无组织缺陷。[0003]氧化锌镁合金(ZnMgO，简写为ZMO)靶材是一种常用的溅射靶材。传统的制备ZMO靶材的方法例如：采用掺杂ⅢA族元素，通过冷等静压及高温烧结的制造方法，此方法设备昂贵、成本较高，难以实现大批量工厂化生产；也有采用常压固相烧结制备ZMO的方法，此方法烧结温度较高，对烧结炉设备要求很高，生产效率也不高。发明内容[0004]基于此，有必要提供一种制备工艺简单且效率较高的ZMO靶材及其制备方法