转移对位系统及转移对位方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113808986A(43)申请公布日2021.12.17(21)申请号202111063168.3(22)申请日2021.09.10(71)申请人苏州迈为科技股份有限公司地址215200江苏省苏州市吴江区芦荡路228号(72)发明人王正根孟祥宽张延凯(74)专利代理机构北京金智普华知识产权代理有限公司11401代理人徐会娟(51)Int.Cl.H01L21/68(2006.01)H01L33/00(2010.01)权利要求书2页说明书8页附图4页(54)发明名称转移对位系统及转移对位方法(57)摘要本申请实施例提供一种转移对位系统及转移对位方法，用于将第一发光单元与第二发光单元转移对位。转移对位系统包括：第一载台和第二载台，分别用于承载上料机构输送的第一发光单元和第二发光单元；平面移动机构，用于驱动第一载台和第二载台在水平面上的移动；吸附平台，设置于对位区域，用于在第一载台移动至对位区域后吸附第一载台上的第一发光单元；对位相机，设置于对位区域，用于分别采集第一发光单元的第一坐标数据，以及第二发光单元的第二坐标数据；处理器，用于根据第一坐标数据和第二坐标数据，控制第二载台移动，以使第二发光单元与第一发光单元处于对准状态。这样，全自动化、高精准度地实现了MicroLED生产制程工艺中发光单元的巨量转移。CN113808986ACN113808986A权利要求书1/2页1.一种转移对位系统，其特征在于，用于将第一发光单元与第二发光单元转移对位；所述转移对位系统包括：第一载台和第二载台，分别用于承载上料机构输送的第一发光单元和第二发光单元；平面移动机构，用于驱动所述第一载台和所述第二载台在水平面上的移动；吸附平台，设置于对位区域，用于在所述第一载台移动至所述对位区域后吸附所述第一载台上的第一发光单元；对位相机，设置于所述对位区域，用于分别采集第一发光单元的第一坐标数据，以及所述第二发光单元的第二坐标数据；处理器，用于根据所述第一坐标数据和所述第二坐标数据，控制所述第二载台移动，以使所述第二发光单元与所述第一发光单元处于对准状态。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述平面移动机构包括横轴驱动组件和纵轴驱动组件，所述横轴驱动组件和所述纵轴驱动组件的控制端均与所述处理器通信连接；所述横轴驱动组件的驱动方向与所述纵轴驱动组件的驱动方向垂直。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述转移对位系统还包括升降机构和调整机构，所述升降机构和所述调整机构的控制端均与所述处理器通信连接；所述升降机构用于驱动所述第一载台在所述对位区域靠近或者远离所述吸附平台；所述调整机构用于调整所述第二载台的移动。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述调整机构包括六自由度驱动机构。5.根据权利要求1至4中任一项所述的系统，其特征在于，所述对位相机包括第一对位相机和第二对位相机，所述第一对位相机和所述第二对位相机的数据端均与所述处理器通信连接；所述第一对位相机的图像采集区域朝向所述吸附平台，用于采集所述吸附平台上的第一发光单元的第一坐标数据；所述第二对位相机的图像采集区域朝向所述第二载台，用于采集所述第二载台上的第二发光单元的第二坐标数据。6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述吸附平台还设有三个分立的对位检测传感器，所述对位检测传感器位于所述吸附平台和所述第二载台之间；所述对位检测传感器用于检测所述第二载台相对所述吸附平台的平行度。7.一种转移对位方法，其特征在于，应用于权利要求1至6中任一项所述的转移对位系统；所述方法包括：上料机构将第一发光单元上料到第一载台，并将第二发光单元上料到第二载台；平面移动机构将第一载台移动至对位区域，吸附平台吸附所述第一载台上的所述第一发光单元；所述平面移动机构将第二载台移动至所述对位区域；对位相机分别采集第一发光单元的第一坐标数据，以及所述第二载台上的第二发光单元的第二坐标数据；所述处理器根据所述第一坐标数据和第二坐标数据，控制所述第二载台移动，以使所述第二发光单元与所述第一发光单元处于对准状态。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述转移对位系统还包括升降机构和调整2CN113808986A权利要求书2/2页机构，所述升降机构和所述调整机构的控制端均与所述处理器通信连接；所述平面移动机构将第一载台移动至对位区域的步骤之后，所述方法还包括：所述升降机构驱动所述第一载台在所述对位区域靠近所述吸附平台；所述处理器根据所述第一坐标数据和第二坐标数据，控制所述第二载台移动的步骤，包括：所述处理器根据所述第一坐标数据和所述第二坐标数据确定调整数据；所述调整机构根据所述调整数据调整所述第二载台的移动。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于