伯努利吸盘.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114999985A(43)申请公布日2022.09.02(21)申请号202110230229.4(22)申请日2021.03.02(71)申请人昆山迈瑞凯精密工业有限公司地址215300江苏省苏州市昆山市昆山开发区雄鹰路276号5号房1F(72)发明人华俊义(74)专利代理机构上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)31297专利代理师崔巍(51)Int.Cl.H01L21/683(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图6页(54)发明名称伯努利吸盘(57)摘要本发明涉及一种伯努利吸盘包括吸盘体，吸盘体的中部设有主吸盘，边沿上设有若干辅吸盘，主吸盘的主吸盘腔体内设有主吸盘芯，主吸盘芯与主吸盘腔体间的主腔内气流通道与外部高压气源连通，高压气流通过主腔内气流通道形成的主高速气流从吸盘体的吸附面的中部外环排出，在吸盘体的吸附面的中部形成主负压吸附区，辅吸盘的辅吸盘腔体内设有辅腔内气流通道，辅腔内气流通道与外部高压气源连通，高压气流通过辅腔内气流通道形成的辅高速气流从吸盘体的吸附面的边沿外环排出，在吸盘体的吸附面的边沿形成辅负压吸附区。本发明采用在吸盘体的边沿周向上增设辅助的伯努利吸盘来提高吸盘体外围负压的伯努利吸盘方案，具有适用于更大外径的硅片的特点。CN114999985ACN114999985A权利要求书1/1页1.伯努利吸盘，其特征是包括吸盘体，所述吸盘体的中部设有主吸盘，所述吸盘体的边沿上沿周向设有若干辅吸盘，所述主吸盘包括主吸盘腔体，所述主吸盘腔体内设有主吸盘芯，所述主吸盘芯与所述主吸盘腔体间设有主腔内气流通道，所述主腔内气流通道通过主进气管与外部高压气源连通，高压气流通过所述主腔内气流通道形成主高速气流，所述主高速气流从所述吸盘体的吸附面的中部外环排出，排出的所述主高速气流在所述吸盘体的吸附面的中部形成主负压吸附区，所述辅吸盘包括辅吸盘腔体，所述辅吸盘腔体内设有辅腔内气流通道，所述辅腔内气流通道与外部高压气源连通，高压气流通过所述辅腔内气流通道形成辅高速气流，所述辅高速气流从所述吸盘体的吸附面的边沿外环排出，排出的所述辅高速气流在所述吸盘体的吸附面的边沿形成辅负压吸附区，所述主负压吸附区、辅负压吸附区内的负压吸起工件。2.根据权利要求1所述的伯努利吸盘，其特征在于，所述辅吸盘腔体的顶部进气端设有与外部高压气源连通的进气沉孔，所述进气沉孔的底部与若干横向牙孔连通，所述横向牙孔与所述吸盘体的边沿相对的一端设有密封止付螺丝，所述横向牙孔的另一端与喷气孔连通，所述喷气孔的出口朝向所述辅吸盘腔体的底部出气端上的出气凹槽内的导气斜面，高压气流通过所述进气沉孔、横向牙孔、喷气孔形成辅高速气流，所述辅高速气流经所述导气斜面从所述吸盘体的吸附面的边沿外环排出。3.根据权利要求2所述的伯努利吸盘，其特征在于，所述辅吸盘腔体的底部与所述吸盘体的边沿相对的一端上设有连接檐板，所述连接檐板上设有安装沉头孔，所述安装沉头孔内设有安装连接件，所述辅吸盘腔体通过所述安装连接件安装在所述吸盘体的边沿上。4.根据权利要求2所述的伯努利吸盘，其特征在于，所述进气沉孔的孔径大于所述横向牙孔的孔径，所述横向牙孔的孔径大于所述喷气孔的孔径。5.根据权利要求4所述的伯努利吸盘，其特征在于，所述进气沉孔的孔径是5mm，所述横向牙孔的孔径是2.5mm，所述喷气孔的孔径是1mm。6.根据权利要求1所述的伯努利吸盘，其特征在于，所述主吸盘腔体上设有若干破真空孔，所述破真空孔与破真空管连通。7.根据权利要求1所述的伯努利吸盘，其特征在于，所述主负压吸附区、辅负压吸附区内设有吸盘缓冲垫，吸起的工件与所述吸盘缓冲垫接触缓冲。8.根据权利要求1所述的伯努利吸盘，其特征在于，所述吸盘体是圆盘状结构，所述吸盘体的边沿上沿周向等距设有四个辅吸盘。9.根据权利要求8所述的伯努利吸盘，其特征在于，所述吸盘体的外径是150mm、160mm、170mm、180mm、190mm、200mm中的一个数值。2CN114999985A说明书1/4页伯努利吸盘技术领域[0001]本发明涉及一种伯努利吸盘，特别涉及一种改进的伯努利吸盘，属于伯努利吸盘领域。背景技术[0002]伯努利吸盘是一种利用压缩空气通过小径(小孔)产生高速射流，高速射流带走周围气体，从而产生负压来吸取物品的吸盘。因为其特殊的原理和稳定的性能，使得其在光伏硅片制造领域得以广泛应用。随着光伏硅片制造领域的不断发展，硅片的大小也在不断增大。[0003]因为现有伯努利吸盘构造的限制，导致中心芯体的体积不可过大。若无视芯体的体积，盲目增加吸盘本体的最大外径，会导致吸盘偏外侧的部分气体流速降低，流速过低的区域无法产生足够的负压。而当吸盘中心区域和外围区域的负压值偏差过大时，会导