钽酸锂薄膜溶胶凝胶制备工艺研究.pdf

第卷第期电子元件与材料．．年月．钽酸锂薄膜溶胶凝胶制备工艺研究张熙张德银彭卫东董政．中国民航飞行学院航空工程学院四川广汉；．电子科技大学机电学院四川成都摘要：用溶胶一凝胶法在不同衬底上制备了新的钽酸锂薄膜；研究了环氧树脂掺杂甩胶转速、衬底效应、热处理温度和气氛等薄膜制备工艺条件对薄膜晶向、表面形貌和介电特性的影响。结果表明：当溶胶浓度为．／转速为／能制备出均匀、平整、无裂纹的薄膜；控制掺杂环氧树脂在％左右质量分数能提高薄膜与衬底的黏附性；薄膜在氧气气氛下结晶退火比在氮气气氛下具有更小的介质损耗；型、型和衬底上钽酸锂薄膜在】晶向上具有择优取向性而衬底上薄膜在向上具有择优取向性。关键词：电子技术；；薄膜；溶胶凝胶；退火条件；制备工艺中图分类号：文献标识码：文章编号：．——