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现代半导体器件物理与工艺.ppt

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晶体生长和外延晶体生长与外延CZ法生长单晶硅－起始材料Cz直拉法掺杂物质的分布有效分凝系数悬浮区熔法砷化镓晶体的生长技术－起始材料砷化镓生长工艺布理吉曼法材料特性－晶片切割晶体特性－晶体缺陷材料特性晶体外延外延层的构造和缺陷－晶格匹配及形变层外延外延层缺陷