一种离子源.pdf
茂学****23
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相关资料
一种离子源栅网及离子源.pdf
本发明公开了一种离子源栅网,所述栅网包括若干等分区域,所述若干等分区域由栅网的圆心为起点,每个等分区域自圆心形成的扇形角度为(360/n)<base:Sup>o</base:Sup>,n为1?12间的正整数,每个等分区域内设置有若干密排的孔洞,且每个等分区域的边界上的孔洞与其相邻的等分区域共享,本发明优化的密排孔洞设计,使得其同时在径向和轴向具有连续的孔洞面积分布,消除非连续性边界对离子体密度分布均匀性的影响;同时,采用优化的轴向孔洞面积分布,进一步地提高了离子体密度分布的均匀性。
一种离子源.pdf
本发明提供一种便携式质谱仪用离子源,所述离子源包括外部管(10)、内部管(11)、放电电极(12)和气体挡板(13);其中,内部管(11)同心的放置在外部管(10)内,放电电极(12)固定在内部管(11)外壁,气体挡板(13)固定在外部管(10)的内壁,且紧贴在放电电极(12)上方。该离子源使得分析物离子在内部管(11)传输过程中的损失最小化。
一种离子源.pdf
本发明提供一种离子源,该离子源包括位于同一轴线上的样品入口(21)、圆弧形网状电极(22)、球形碰撞面(23)、撇去器(24)以及撇去器(24)内壁上的多个环形薄膜电极(25);圆弧形网状电极(22)的圆心(O)位于该轴线上,且位于撇去器(24)尖端部入口以及最靠近撇去器(24)尖端部入口的环形薄膜电极(25)之间,圆弧形网状电极(22)的半径(r)远远大于撇去器(24)的内腔直径(Φ)。该离子源能够提高离子的收集效率,进而提高质谱仪的灵敏度。
一种离子源维护装置及离子源维护方法.pdf
本发明涉及离子束溅射镀膜技术领域,尤其涉及一种离子源维护装置及离子源维护方法,通过插板阀将离子源维护腔与真空腔体分隔设置,在不将真空腔体暴露于大气环境下对离子源进行维护,避免了真空腔体的污染;并且由于离子源外侧加装了隔离保护套,使得射频离子源不会干扰腔体内带电粒子的正常运动,在进行镀膜工艺时离子源可在真空腔体内部进行移动,可调节靶源距离,改变束斑大小和束流空间分布,进而调节薄膜沉积质量和空间分布情况。
一种射频离子源.pdf
本发明涉及一种射频离子源,属于等离子体应用技术领域,所述射频离子源包括石英管、缠绕在石英管外壁上的铜管和用于屏蔽射频电场的屏蔽罩,所述石英管和缠绕在石英管外壁上的铜管置于屏蔽罩内,所述石英管上端设有进气口,石英管下端设有离子喷射口,所述铜管两端与射频电源两端连接,所述屏蔽罩底部中心位置设有用于通过等离子体的通孔,本发明有益效果为屏蔽罩把射频电场与腔体隔绝,阻止腔体放电现象。