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一种离子源栅网及离子源.pdf

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本发明公开了一种离子源栅网,所述栅网包括若干等分区域,所述若干等分区域由栅网的圆心为起点,每个等分区域自圆心形成的扇形角度为(360/n)o,n为1?12间的正整数,每个等分区域内设置有若干密排的孔洞,且每个等分区域的边界上的孔洞与其相邻的等分区域共享,本发明优化的密排孔洞设计,使得其同时在径向和轴向具有连续的孔洞面积分布,消除非连续性边界对离子体密度分布均匀性的影响;同时,采用优化的轴向孔洞面积分布,进一步地提高了离子体密度分布的均匀性。