涂布装置及利用该涂布装置形成涂布层的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102452798102452798B(45)授权公告日2014.12.10(21)申请号201010625086.9(56)对比文件CN101046570A,2007.10.03,具体实施方(22)申请日2010.12.24式.(30)优先权数据CN1892429A,2007.01.10,具体实施方式.10-2010-01056262010.10.27KRCN1339988A,2002.03.13,说明书第2-3(73)专利权人乐金显示有限公司页.地址韩国首尔审查员史立红(72)发明人郑泰均郑景得朴钟翼金明植金炯元申东起崔丁学(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人李辉吕俊刚(51)Int.Cl.G03F7/16(2006.01)C03C17/00(2006.01)C03C17/28(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书6页说明书6页附图5页附图5页(54)发明名称涂布装置及利用该涂布装置形成涂布层的方法(57)摘要涂布装置及利用该涂布装置形成涂布层的方法。一种涂布装置包括：喷嘴，其具有被配置成喷射涂布溶液的喷嘴前端以及被配置成存储该涂布溶液的头部；移动轴，其被配置成使所述喷嘴沿直线前后移动；旋转连接部件，其被配置成连接所述移动轴与所述喷嘴并允许所述喷嘴旋转；工作台，其设置在所述移动轴下方；以及清洁装置，其设置在所述移动轴的一端，并具有所述喷嘴前端的凹形的喷嘴前端插入单元和固定该喷嘴前端插入单元的基部，其中，所述喷嘴在所述工作台的表面的法线方向上被所述移动轴固定，在所述移动轴的延伸方向上前后移动，并且相对于所述移动轴旋转。CN102452798BCN10245798BCN102452798B权利要求书1/2页1.一种涂布装置，该涂布装置包括：喷嘴，其具有被配置成喷射涂布溶液的喷嘴前端以及被配置成存储所述涂布溶液的头部；移动轴，其被配置成使所述喷嘴沿直线前后移动；旋转连接部件，其被配置成连接所述移动轴与所述喷嘴并允许所述喷嘴旋转；工作台，其设置在所述移动轴下方；以及清洁装置，其设置在所述移动轴的一端，并具有所述喷嘴前端的凹形的喷嘴前端插入单元和固定所述喷嘴前端插入单元的基部，其中，所述喷嘴在所述工作台的表面的法线方向上被所述移动轴固定，在所述移动轴的延伸方向上前后移动，并且相对于所述移动轴旋转，并且其中，所述喷嘴前端插入单元由如下的材料制成，即，该材料具有优良弹性，并且使得所述涂布溶液对所述喷嘴前端插入单元的粘附力强于所述涂布溶液对所述喷嘴前端的粘附力。2.根据权利要求1所述的涂布装置，其中，所述喷嘴前端插入单元被设置为长轴在与所述移动轴平行的方向上。3.根据权利要求1所述的涂布装置，其中，所述清洁装置具有用于垂直地移动所述喷嘴前端插入单元的垂直驱动装置。4.根据权利要求1所述的涂布装置，其中，所述喷嘴前端插入单元由橡胶或高弹性海绵制成。5.一种利用涂布装置形成涂布层的方法，该涂布装置包括：喷嘴，其具有被配置成喷射涂布溶液的喷嘴前端以及被配置成存储所述涂布溶液的头部；移动轴，其被配置成使所述喷嘴沿直线前后移动；旋转连接部件，其被配置成连接所述移动轴与所述喷嘴并且允许所述喷嘴旋转；工作台，其设置在所述移动轴下方；以及清洁装置，其设置在所述移动轴一端，并具有所述喷嘴前端的凹形的喷嘴前端插入单元和固定所述喷嘴前端插入单元的基部，其中，所述喷嘴在所述工作台的表面的法线方向上被所述移动轴固定，在所述移动轴的延伸方向上前后移动，并且相对于所述移动轴旋转，并且其中，所述喷嘴前端插入单元由如下的材料制成，即，该材料具有优良弹性，并且使得所述涂布溶液对所述喷嘴前端插入单元的粘附力强于所述涂布溶液对所述喷嘴前端的粘附力，该方法包括：将所述喷嘴前端移动至所述移动轴的所述一端，以将所述喷嘴前端设置为与所述清洁装置的所述喷嘴前端插入单元相对；向上移动所述喷嘴前端插入单元，以将所述喷嘴前端插入单元与所述喷嘴前端紧密地接合；沿着所述移动轴移动所述喷嘴前端以清洁所述喷嘴前端；在空气中浮置基板以在所述工作台上方安装该基板，使该基板与所述工作台间隔预定距离；旋转经清洁的喷嘴前端，使所述喷嘴前端对准安装在所述工作台上方的所述基板的一端；执行在所述喷嘴前端处预施放涂布溶液的停留操作，以在所述喷嘴前端与所述基板之间的间隙中填充所述涂布溶液；以及2CN102452798B权利要求书2/2页在以预定速度沿着所述移动轴移动所述喷嘴前端的同时喷射所述涂布溶液，以在所述基板上形成涂布层。6.根据权利要求5所述的方法，其中，在所述工作台上方安装所述基板的步骤包括如下步骤：将浮置在空气中的所述基板的传送路径与所述工作台的一端对齐；以及移动在所述工作台