涂布装置及涂布方法.pdf
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涂布装置及涂布方法.pdf
本发明提供一种防止腔室内的气体对外部的其他步骤带来影响的涂布装置及涂布方法。膜·催化剂层接合体的制造装置(1)包括:涂布部(30),将含有可燃性材料的催化剂材料涂布在被搬送的电解质膜(92)上;干燥炉(40),配置在比涂布部(30)更位于电解质膜(92)的搬送方向的下游侧,并使由涂布部(30)所涂布的催化剂材料干燥;腔室(70),覆盖涂布部(30)及干燥炉(40),并具有搬入口(70A)及搬出口(70B);排气量传感器(71S),检测腔室(70)内的空气;及闸门机构(81)、(82),使搬入口(70A)及
涂布装置及涂布方法.pdf
使涂布用喷嘴(10)在被涂布体(W)的上方与被涂布体相对移动,并从涂布用喷嘴前端部的狭缝状排出口(11)将涂布液(P)涂布于被涂布体的表面时,将收容有涂布液的涂布用喷嘴的涂布液导入部(13)以与狭缝状排出口连通的方式设置,并在该涂布液导入部内的底部,将在外周面设置有规定的图案形状的涂布液收容凹部(14a)的涂布液供给体(14)能旋转地设置在狭缝状排出口的上方,并使该涂布液供给体旋转而从涂布液收容凹部内将涂布液通过狭缝状排出口涂布于相对移动的被涂布体的表面。
涂布装置及涂布方法.pdf
在使涂布用喷嘴(10)在被涂布体(W)的上方与被涂布体相对移动且从涂布用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口(12)向被涂布体的表面涂布涂布液(P)的涂布装置中,使设置有呈规定的图案形状的涂布液收容凹部(14a)的涂布液供给体(14)以能在狭缝状排出口的上方旋转的方式设置于对涂布液进行收容的涂布液收容部(11)内,并且,设置沿着狭缝状排出口的长度方向分离成多个排出部(12a)的分隔构件(13),使涂布液供给体(14)旋转,使涂布液经过与涂布液收容凹部对应的位置处的排出部而涂布至被涂布体的表面。
涂布方法和涂布装置.pdf
一种涂布方法和涂布装置,将Y轴用伺服马达(26)的驱动力通过Y轴用滚珠丝杠(18)传递到支承部件(20),将X轴用伺服马达(40)的驱动力通过花键轴(30)、螺母(32)、带轮(44)、同步带(48)、带轮(46)、旋转轴(50)、锥齿轮(52、54)传递到X轴用滚珠丝杠(58),由Y轴用伺服马达(26)的驱动使支承部件(20)和涂装枪组件(62)沿Y轴移动,由X轴用伺服马达40的驱动使涂装枪组件(62)沿X轴移动,在该过程中,由涂装枪组件(62)在片(16)上实施涂装。此时,用锥齿轮(52、54)将螺母
涂布装置及利用该涂布装置形成涂布层的方法.pdf
涂布装置及利用该涂布装置形成涂布层的方法。一种涂布装置包括:喷嘴,其具有被配置成喷射涂布溶液的喷嘴前端以及被配置成存储该涂布溶液的头部;移动轴,其被配置成使所述喷嘴沿直线前后移动;旋转连接部件,其被配置成连接所述移动轴与所述喷嘴并允许所述喷嘴旋转;工作台,其设置在所述移动轴下方;以及清洁装置,其设置在所述移动轴的一端,并具有所述喷嘴前端的凹形的喷嘴前端插入单元和固定该喷嘴前端插入单元的基部,其中,所述喷嘴在所述工作台的表面的法线方向上被所述移动轴固定,在所述移动轴的延伸方向上前后移动,并且相对于所述移动轴