光学装置的制造方法、基板装置、光学装置及光学装置的制造装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107132597A(43)申请公布日2017.09.05(21)申请号201610537380.1(22)申请日2016.07.08(30)优先权数据2016-0379272016.02.29JP(71)申请人富士施乐株式会社地址日本东京(72)发明人冈崎祥也松林诚(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人何立波张天舒(51)Int.Cl.G02B3/00(2006.01)权利要求书1页说明书12页附图16页(54)发明名称光学装置的制造方法、基板装置、光学装置及光学装置的制造装置(57)摘要本发明的目的在于提供一种光学装置的制造方法，与通过使真空卡盘与基板装置接触从而吸附基板装置而将基板装置插入至框体的情况相比，该光学装置的制造方法能够以小的吸附面积吸附基板装置。光学装置的制造方法具有：使磁铁对设置有光学元件及磁性体的基板装置的该磁性体进行吸附的工序；以及使吸附了该磁性体的该磁铁进行移动而将该基板装置插入至形成有贯通孔的框体的该贯通孔内的工序。CN107132597ACN107132597A权利要求书1/1页1.一种光学装置的制造方法，其具有：使磁铁对设置有光学元件及磁性体的基板装置的该磁性体进行吸附的工序；以及使吸附了该磁性体的该磁铁进行移动而将该基板装置插入至形成有贯通孔的框体的该贯通孔内的工序。2.根据权利要求1所述的光学装置的制造方法，其中，在该基板装置形成有接地用的端子，该磁性体配置于该端子之上。3.根据权利要求1或2所述的光学装置的制造方法，其中，在使该磁铁对该磁性体进行吸附的工序中，将非磁性部件推压至该基板装置而使该磁铁接近该基板装置。4.根据权利要求3所述的光学装置的制造方法，其中，将该基板装置插入至该贯通孔内之后，使该磁铁离开该基板装置，解除由该非磁性部件对该基板装置的推压。5.一种基板装置，其具有：长条的基板，在其一个面形成有接地用的端子；多个光学元件，其沿该基板的长边方向而配置在该基板的另一个面；以及磁性体，其配置于该端子之上。6.一种光学装置，其具有：权利要求5所述的基板装置；长条的光学部件；以及框体，其形成有长条的贯通孔，且在该另一个面朝向该光学部件的状态下，该框体将该基板装置及该光学部件分别固定于该贯通孔的一个及另一个开口端侧。7.一种光学装置的制造装置，其具有：支撑部，其支撑形成有长条的贯通孔的框体；以及吸附装置，其具有磁铁，且将设置有磁性体及沿长边方向排列的多个光学元件的长条的基板装置在使该磁性体吸附于该磁铁的状态下进行移动，插入至该贯通孔的开口端侧。2CN107132597A说明书1/12页光学装置的制造方法、基板装置、光学装置及光学装置的制造装置技术领域[0001]本发明涉及光学装置的制造方法、基板装置、光学装置及光学装置的制造装置。背景技术[0002]在专利文献1中公开了一种曝光装置的制造方法，其具有：光学部件插入工序，使形成有沿一个方向延伸的贯通孔的树脂制的框体的、在与所述一个方向正交的方向上相对的所述贯通孔的内表面的间隔在所述贯通孔的一个开口端侧扩大，将光学部件从所述一个开口端插入至所述贯通孔；以及光学部件粘合工序，将所述框体和所述光学部件通过粘合剂进行粘合。[0003]专利文献1：日本特开2014-094506号公报发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种光学装置的制造方法，与通过使真空卡盘与基板装置接触从而吸附基板装置而将基板装置插入至框体的情况相比，该光学装置的制造方法能够以小的吸附面积吸附基板装置。[0005]技术方案1所记载的光学装置的制造方法具有：使磁铁对设置有光学元件及磁性体的基板装置的该磁性体进行吸附的工序；以及使吸附了该磁性体的该磁铁进行移动而将该基板装置插入至形成有贯通孔的框体的该贯通孔内的工序。[0006]技术方案2所记载的光学装置的制造方法为技术方案1所记载的光学装置的制造方法，其中，在该基板装置形成有接地用的端子，该磁性体配置于该端子之上。[0007]技术方案3所记载的光学装置的制造方法为技术方案1或2所记载的光学装置的制造方法，其中，在使该磁铁对该磁性体进行吸附的工序中，将非磁性部件推压至该基板装置而使该磁铁接近该基板装置。[0008]技术方案4所记载的光学装置的制造方法为技术方案3所记载的光学装置的制造方法，其中，将该基板装置插入至该贯通孔内之后，使该磁铁离开该基板装置，解除由该非磁性部件对该基板装置的推压。[0009]技术方案5所记载的基板装置具有：长条的基板，在其一个面形成有接地用的端子；多个光学元件，其沿该基板的长边方向而配置在该基板的另一个面；以及磁性体，其配置于该端子之上。[0010]技术方案6所记载的光学装置具有：技术方案5所述的基板