用于材料处理的激光装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110267765A(43)申请公布日2019.09.20(21)申请号201880010812.0(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专(22)申请日2018.03.05利商标事务所11038代理人高文静(30)优先权数据102017002434.02017.03.13DE(51)Int.Cl.B23K26/70(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日A61F9/008(2006.01)2019.08.08B23K103/00(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/IB2018/0514052018.03.05(87)PCT国际申请的公布数据WO2018/167600EN2018.09.20(71)申请人视乐有限公司地址德国埃朗根(72)发明人K·沃格勒O·吉特尔曼恩E·比特纳J·博皮恩权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称用于材料处理的激光装置(57)摘要一种用于材料处理、特别是用于对人眼(12)进行激光处理的激光装置(10)，所述激光装置包括脉冲激光束(16)的源(14)；检测器系统，所述检测器系统用于对通过辐射耦合输出而从所述激光束产生的多个部分光束(16’，16”)进行光电检测并提供相应检测信号，以及评估单元(24)，所述评估单元连接至所述检测器系统、用于评估所述检测信号。所述检测器系统的第一检测元件(32)提供第一检测信号，所述信号基于单光子吸收。所述检测器系统的第二检测元件(34)提供第二检测信号，所述信号基于双光子吸收。在某些实施例中，所述控制单元将所述两个检测信号的测得信号强度变成彼此的比值。假设所述激光束(16)的脉冲重复率均匀并且所述激光装置的平均功率不变，则所得比值的变化可以追溯到所述激光束16的脉冲持续时间或/和波前的变化。因为控制单元启动合适的对策，因此可以在激光装CN110267765A置的发射操作期间维持激光束的光束质量。CN110267765A权利要求书1/1页1.一种用于材料处理的激光装置，所述激光装置包括：-脉冲激光束的源，-检测器系统，所述检测器系统用于对通过辐射耦合输出而从所述激光束产生的多个部分光束进行光电检测并提供相应检测信号，以及-评估单元，所述评估单元连接至所述检测器系统、用于评估所述检测信号，其中，所述检测信号中的第一检测信号基于单光子吸收并且所述检测信号中的第二检测信号基于双光子吸收。2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述评估单元被配置用于将所述第一检测信号和所述第二检测信号的测得值变成彼此的比值。3.根据权利要求2所述的激光装置，其中，所述评估单元被配置用于将所述第二检测信号的测得值除以所述第一检测信号的测得值。4.根据权利要求1至3之一所述的激光装置，其中，所述评估单元是控制单元的一部分，被配置用于根据所述第一检测信号和所述第二检测信号的测得值限定的实际状态以预定方式偏离目标状态的事实来产生至少一个预定反应。5.根据权利要求4所述的激光装置，其中，所述至少一个预定反应包括关闭所述源的操作或/和输出消息。6.根据权利要求4或5所述的激光装置，其中，所述至少一个预定反应包括通过所述控制单元控制所述激光装置的影响所述激光束的脉冲持续时间的部件、特别是可控脉冲压缩器。7.根据权利要求4至6之一所述的激光装置，其中，所述至少一个预定反应包括通过所述控制单元控制所述激光装置的影响所述激光束的波前的部件、特别是可控波片布置件。8.根据权利要求1至7之一所述的激光装置，进一步包括：-用于将所述激光束聚焦到待处理的物体上的聚焦光学器件，以及-用于对所述激光束的焦点位置进行空间控制的焦点控制装置，其中，所述焦点控制装置包括至少一个横向控制元件，所述至少一个横向控制元件安排在源与聚焦光学器件之间的所述激光束的光束路径上，以用于对所述焦点位置进行空间横向控制，其中，耦合输出点安排在所述源与所述至少一个横向控制元件之间的所述激光束的光束路径上，在所述耦合输出点处，从所述激光束耦合输出辐射以获得所述部分光束中的至少一个。9.根据权利要求8所述的激光装置，进一步包括：-扩束光学器件，所述扩束光学器件安排在所述源与所述至少一个横向控制元件之间的所述激光束的光束路径上，其中，所述耦合输出点安排在所述源与所述扩束光学器件之间的所述激光束的光束路径上。10.根据权利要求1至9之一所述的激光装置，进一步包括：-用于将所述部分光束之一聚焦到所述检测器系统的检测器元件上的聚焦透镜，所述检测器元件根据所述双光子吸收原理起作用。2CN110267765A说明书1/5页用于材料处理的激光装置技术领域[0001]本披露涉及一种用于材料处理的激光装置。背景技术[0002]用于处理各种各样的材料