阳离子光固化性组合物及感光性抗蚀干膜.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112147843A(43)申请公布日2020.12.29(21)申请号202010976806.X(22)申请日2020.09.16(71)申请人四川乐凯新材料有限公司地址四川省眉山市彭山区义和乡杨庙村3组申请人董旭辉(72)发明人邹应全丁艳花庞玉莲辛阳阳B·斯特雷梅尔(74)专利代理机构北京市中咨律师事务所11247代理人刘娜刘金辉(51)Int.Cl.G03F7/027(2006.01)G03F7/004(2006.01)权利要求书9页说明书38页(54)发明名称阳离子光固化性组合物及感光性抗蚀干膜(57)摘要本发明涉及一种阳离子光固化性组合物，其包含(a)至少一种碱溶性聚合物，(b)至少一种光聚合性化合物，(c)至少一种红外吸收光敏剂和(d)至少一种光聚合引发剂，其中，作为组分(b)的光聚合性化合物为至少一种阳离子聚合性化合物，其选自链烯基醚类化合物和/或环氧乙烷类化合物和/或氮杂环丙烷类化合物和/或氧杂环丁烷类化合物，作为组分(c)的红外吸收光敏剂包含至少一种多甲川花菁素化合物。本发明的阳离子光固化性组合物适用于制备感光性抗蚀干膜。CN112147843ACN112147843A权利要求书1/9页1.阳离子光固化性组合物，其包含如下组分：(a)至少一种碱溶性聚合物，(b)至少一种光聚合性化合物，(c)至少一种红外吸收光敏剂，和(d)至少一种光聚合引发剂，其中，作为组分(b)的光聚合性化合物为至少一种阳离子聚合性化合物，其选自链烯基醚类化合物和/或环氧乙烷类化合物和/或氮杂环丙烷类化合物和/或氧杂环丁烷类化合物，作为组分(c)的红外吸收光敏剂包含至少一种多甲川花菁素化合物。2.根据权利要求1的阳离子光固化性组合物，其中所述碱溶性聚合物为含有源自(甲基)丙烯酸和/或马来酸酐和/或N-乙烯基吡咯烷酮和/或羟基苯乙烯的结构单元和源自除(甲基)丙烯酸和/或马来酸酐和/或N-乙烯基吡咯烷酮和/或羟基苯乙烯之外的其他聚合性化合物的结构单元的碱溶性聚合物。3.根据权利要求2的阳离子光固化性组合物，其中所述其他聚合性化合物选自苯乙烯、α-甲基苯乙烯、(甲基)丙烯酸C1-C10烷基酯、(甲基)丙烯酸C3-C8环烷基酯、(甲基)丙烯酸羟基C1-C6烷基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸糠基酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸金刚烷基酯、(甲基)丙烯酸二环戊酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸2，2，2-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸2，2，3，3-四氟丙酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸环己氧基乙酯、(甲基)丙烯酸金刚烷基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基丙基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二环戊氧基丙基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸金刚烷基氧基丙基氧基乙酯等(甲基)丙烯酸酯；α-溴代丙烯酸、α-氯代丙烯酸、β-呋喃基(甲基)丙烯酸、β-苯乙烯基(甲基)丙烯酸等(甲基)丙烯酸衍生物；在芳香族环上被取代的能够聚合的苯乙烯衍生物；二丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺；丙烯腈；乙烯基-正丁基醚等乙烯基醇的醚化合物；马来酸；马来酸单甲酯、马来酸单乙酯、马来酸单异丙酯等马来酸单酯；富马酸、肉桂酸、α-氰基肉桂酸、衣康酸、巴豆酸、丙醇酸等不饱和羧酸衍生物或其组合，优选苯乙烯、(甲基)丙烯酸C1-C6烷基酯、(甲基)丙烯酸苄酯或其组合，更优选苯乙烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯或其组合。4.根据权利要求2或3的阳离子光固化性组合物，其中所述源自(甲基)丙烯酸和/或马来酸酐和/或N-乙烯基吡咯烷酮和/或羟基苯乙烯的结构单元的量基于碱溶性聚合物的重量为10-40重量％，优选20-35重量％，更优选25-32重量％。5.根据权利要求2-4中任一项的阳离子光固化性组合物，其中所述源自其他聚合性化合物的结构单元的量基于碱溶性聚合物的重量为60-90重量％，优选65-80重量％，更优选68-75重量％。6.根据权利要求1-5中任一项的阳离子光固化性组合物，其中所述碱溶性聚合物的酸值为90-250mgKOH/g，优选130-230mgKOH/g，更优选150-200mgKOH/g。7.根据权利要求1-6中任一项的阳离子光固化性组合物，其中通过凝胶渗透色谱(GPC)进行测定(通过使用标准聚苯乙烯的标准曲线进行换算)，所述碱溶性聚合物的重均分子量(Mw)为10,000-600,000，优选20,000-300,000，更优选35,000-80,000。2CN112147843A权利要求书2/9页8.根据权利要求1-