感光性树脂组合物和干膜抗蚀剂.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115933315A(43)申请公布日2023.04.07(21)申请号202211510807.0(22)申请日2022.11.29(71)申请人福斯特（安吉）新材料有限公司地址313307浙江省湖州市安吉县梅溪镇临港产业园疏港大道88号(72)发明人朱高华袁丽李伟杰吴佳丰(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240专利代理师李双艳(51)Int.Cl.G03F7/027(2006.01)G03F7/004(2006.01)权利要求书2页说明书17页(54)发明名称感光性树脂组合物和干膜抗蚀剂(57)摘要本发明提供了一种感光性树脂组合物和干膜抗蚀剂。按质量份数计，该感光树脂组合物包括碱溶性树脂45～60份，光聚合单体35～50份、光引发剂2.5～5份以及任选的添加剂0.5～5份，其中，碱溶性树脂为共聚物，其单体包括具有双苯环结构的第一共聚单体。本申请将具有双苯环结构的第一共聚单体引入碱溶性树脂中与光引发剂和光聚合单体相配合，得到具有高分辨率和高附着力的感光性树脂组合物，可广泛应用于印刷电路板(PCB)、引线框架(LF)、半导体封装(IC)基板的制造过程中，提升良品率，降低生产成本。CN115933315ACN115933315A权利要求书1/2页1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，按质量份数计，所述感光性树脂组合物包括碱溶性树脂45～60份、光聚合单体35～50份、光引发剂2.5～5份以及添加剂0.5～5份；其中，所述碱溶性树脂为共聚物，其单体包括第一共聚单体，所述第一共聚单体具有如下式(Ⅰ)所示结构：其中，R1选自氢或甲基；R2选自苯基或苯氧基；X选自亚甲基、亚乙基、亚正丙基、亚异丙基、*CH2OCH2*、*CH2OCH2CH2*、*CH2CH2OCH2*、*CH(CH3)OCH2*或*CH2O(CH3)CH*。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱溶性树脂的单体中，所述第一共聚单体的质量含量为10～60％。3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱溶性树脂的单体还包括第二共聚单体，所述第二共聚单体具有芳香族结构；优选地，所述第二共聚单体选自苯乙烯及其衍生物、丙烯酸苄基酯或甲基丙烯酸苄基酯中的至少一种；优选地，所述碱溶性树脂的单体中，所述第一共聚单体和第二共聚单体的质量含量为50～70％。4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱溶性树脂的单体还包括第三共聚单体，优选所述第三共聚单体选自丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸烷基酯中的至少一种；优选地，按质量百分比计，所述碱溶性树脂的单体中，所述第一共聚单体的质量含量为10～60％，所述第二共聚单体的质量含量为5～55％，所述第三共聚单体的质量含量为30～59％；优选地，所述第三共聚单体包括丙烯酸类化合物和丙烯酸酯类化合物，优选所述丙烯酸类化合物选自丙烯酸或甲基丙烯酸中的至少一种；优选所述丙烯酸酯类化合物选自甲基丙烯酸甲酯或甲基丙烯酸丁酯中的至少一种；优选地，所述碱溶性树脂的单体中，丙烯酸类化合物的质量含量为25～34％，所述丙烯酸酯类化合物的质量含量为5～25％。5.根据权利要求1至3中任一种所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱溶性树脂的重均分子量为25000～60000，酸值为150～222mgKOH/g，分子量分布指数为1.0～3.0。6.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述光聚合单体为烯属不饱和双键单体，优选所述光聚合单体选自乙氧化(丙氧化)壬基苯酚丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)双酚A二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇(丙二醇)二(甲基)丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)氨基甲酸酯结构的(甲基)丙烯酸酯中的至少一种，进一步优选为乙氧化双酚A二(甲基)丙烯酸酯或乙氧化(丙氧化)壬基苯酚丙烯酸酯；优选地，所述光引发剂为三芳基咪唑二聚体衍生物，优选所述光引发剂选自2‑(邻氯苯2CN115933315A权利要求书2/2页基)‑4,5‑二苯基咪唑二聚体、2‑(邻氯苯基)‑4,5‑二(甲氧基苯基)咪唑二聚体、2‑(邻氟苯基)‑4,5‑二苯基咪唑二聚体、2‑(邻甲氧基苯基)‑4,5‑二苯基咪唑二聚体、2‑(对甲氧基苯基)‑4,5‑二苯基咪唑二聚体、2,2’,4‑三(2‑氯苯基)‑5‑(3,4‑二甲氧基苯基)‑4’,5’‑二苯基‑1,1’‑二咪唑中的至少一种，进一步优选为2‑(邻氯苯基)‑4,5‑二苯基咪唑二聚体。7.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述添加剂包括