用于吸附氯硅烷的试验装置及吸附氯硅烷的试验方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111829918A(43)申请公布日2020.10.27(21)申请号201910322683.5(22)申请日2019.04.22(71)申请人新特能源股份有限公司地址830011新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区（新市区）甘泉堡高新技术产业园(72)发明人苏明孙荣义田磊刘帅何超邹德鹏叶冬梅(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人罗建民张萍(51)Int.Cl.G01N7/04(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称用于吸附氯硅烷的试验装置及吸附氯硅烷的试验方法(57)摘要本发明公开了一种用于吸附氯硅烷的试验装置及吸附氯硅烷的试验方法，该试验装置包括：用于吸附氯硅烷的吸附柱组，吸附柱组包括至少一个吸附柱，试验装置还包括：设置于吸附柱入口的第一过滤器、设置于吸附柱出口的第二过滤器，其中，吸附柱组用于装填预设类型的吸附剂，第一过滤器用于阻挡吸附柱内的吸附剂由吸附柱入口流出，第二过滤器用于阻挡吸附柱内的吸附剂由吸附柱出口流出。本发明可对预设类型的吸附剂与被吸附氯硅烷快速检测出适用性及匹配性，能够避免出现采买的预设类型的吸附剂与实际工况下氯硅烷不适用及不匹配的情况，而引起预设类型的吸附剂无法达到吸附实际工况下氯硅烷的功效，避免工业化通入使用时造成成本的浪费。CN111829918ACN111829918A权利要求书1/1页1.一种用于吸附氯硅烷的试验装置，其特征在于，包括：用于吸附氯硅烷的吸附柱组，吸附柱组包括至少一个吸附柱，试验装置还包括：设置于吸附柱入口的第一过滤器、设置于吸附柱出口的第二过滤器，其中，吸附柱组用于装填预设类型的吸附剂，第一过滤器用于阻挡吸附柱内的吸附剂由吸附柱入口流出，第二过滤器用于阻挡吸附柱内的吸附剂由吸附柱出口流出。2.根据权利要求1所述的用于吸附氯硅烷的试验装置，其特征在于，还包括：与吸附柱组入口连接的第一管道、与吸附柱组出口连接的第二管道，其中，第一管道上开设有第一取样口，第二管道上开设有第二取样口，第一取样口用于对吸附柱组入口的氯硅烷取样，第二取样口用于对吸附柱组出口的氯硅烷取样。3.根据权利要求2所述的用于吸附氯硅烷的试验装置，其特征在于，还包括：设置于第一管道上的第一阀门、设置于第二管道上的第二阀门，第一阀门在第一取样口的下游，第二阀门在第二取样口的上游。4.根据权利要求1所述的用于吸附氯硅烷的试验装置，其特征在于，还包括：设置于吸附柱组出口的压力表。5.根据权利要求1所述的用于吸附氯硅烷的试验装置，其特征在于，还包括：设置于吸附柱组入口的流量计。6.根据权利要求1～5任意一项所述的用于吸附氯硅烷的试验装置，其特征在于，还包括：与吸附柱组连接的导淋罐，导淋罐用于接收由吸附柱组导淋出的预设类型的吸附剂。7.根据权利要求1～5任意一项所述的用于吸附氯硅烷的试验装置，其特征在于，吸附柱组由至少两个吸附柱串联而成。8.一种使用权利要求1～7任意一项所述的试验装置吸附氯硅烷的试验方法，其特征在于，包括以下步骤：将预设类型的吸附剂装填到吸附柱组中；将氯硅烷通入到吸附柱组中，通过吸附柱组中的预设类型的吸附剂吸附氯硅烷中的杂质，若吸附达到预设的吸附要求，则将预设类型的吸附剂用作工业化使用的吸附剂；若吸附未达到预设的吸附要求，则放弃将预设类型的吸附剂用作工业化使用的吸附剂。9.根据权利要求8所述的试验方法，其特征在于，使用权利要求4中所述的试验装置，将氯硅烷通入到吸附柱组后，吸附柱组内的压力不高于0.3MPaG。10.根据权利要求8所述的试验方法，其特征在于，将氯硅烷通入到吸附柱组前，还包括以下步骤：将氮气通入到吸附柱组中对其内的预设类型的吸附剂进行置换，置换露点不高于-50℃，氧含量不高于500ppm。11.根据权利要求8～10任意一项所述的试验方法，其特征在于，将氯硅烷通入到吸附柱组前，还包括以下步骤：使用活化剂对预设类型的吸附剂进行浸泡活化。12.根据权利要求8～10任意一项所述的试验方法，其特征在于，使用权利要求6中所述的试验装置，吸附结束后，还包括步骤：将吸附柱组内的预设类型的吸附剂导淋到导淋罐中。2CN111829918A说明书1/5页用于吸附氯硅烷的试验装置及吸附氯硅烷的试验方法技术领域[0001]本发明属于氯硅烷吸附技术领域，具体涉及一种用于吸附氯硅烷的试验装置及吸附氯硅烷的试验方法。背景技术[0002]在多晶硅领域内，目前，多晶硅的主要生产方法为改良西门子法，三氯氢硅的提纯技术都是采用多级精馏分离工艺，此方法能够去除大多数分离系数很大的杂质，但是通过精馏提纯塔分离杂质所产生的能耗成本相对来说比较高。通过吸附柱吸附氯硅烷中的杂质，是现有节约成本的一种方式