一种硅片清洗液及使用该清洗液清洗硅片的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101942365A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101942365A(43)申请公布日2011.01.12(21)申请号201010121960.5(22)申请日2010.03.10(71)申请人宁波太阳能电源有限公司地址315040浙江省宁波市高新区星光路211号(72)发明人肖剑峰张晨吴叶军周体(74)专利代理机构宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙)33226代理人程晓明(51)Int.Cl.C11D7/26(2006.01)C11D7/14(2006.01)B08B3/08(2006.01)权利要求书1页说明书3页(54)发明名称一种硅片清洗液及使用该清洗液清洗硅片的方法(57)摘要本发明公开了一种硅片清洗液及使用该清洗液清洗硅片的方法，硅片清洗液主要由乙醇、丙酮、硅酸钠及去离子水经混合配制而成，乙醇的质量百分比浓度为7～12％，丙酮的质量百分比浓度为3～7％，硅酸钠的质量百分比浓度为1～3％，余量为去离子水，优点在于清洗液中的丙酮可以清洗掉硅片上的有机物，因为硅片上残留的有机杂质主要有胶水、合成蜡、油脂、纤维及切削液残留物，而这些有机杂质能较好地溶于丙酮；清洗液中的乙醇可以有效地除去硅片清洗完后在其表面上残留的丙酮；此外，硅酸钠可以缓减反应的速度，从而减少了对硅片的损伤；清洗硅片时，先使用去离子水将硅片上的无机杂质清洗掉，再使用上述清洗液进行清洗，去除硅片上的有机杂质。CN10942365ACCNN110194236501942370A权利要求书1/1页1.一种硅片清洗液，其特征在于主要由乙醇、丙酮、硅酸钠及去离子水经混合配制而成，所述的乙醇的质量百分比浓度为7～12％，所述的丙酮的质量百分比浓度为3～7％，所述的硅酸钠的质量百分比浓度为1～3％，余量为所述的去离子水。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗液，其特征在于所述的乙醇的质量百分比浓度为10％，所述的丙酮的质量百分比浓度为5％，所述的硅酸钠的质量百分比浓度为2％，余量为所述的去离子水。3.一种使用权利要求1所述的硅片清洗液清洗硅片的方法，其特征在于包括以下步骤：①用去离子水清洗硅片；②用权利要求1所述的硅片清洗液清洗硅片。4.根据权利要求3所述的一种清洗硅片的方法，其特征在于所述的步骤②中清洗硅片时硅片清洗液的温度为40～55℃。5.根据权利要求3或4所述的一种清洗硅片的方法，其特征在于所述的步骤②中清洗硅片的时间为4～8分钟。2CCNN110194236501942370A说明书1/3页一种硅片清洗液及使用该清洗液清洗硅片的方法技术领域[0001]本发明涉及一种半导体制造工艺中硅片清洗工艺，尤其是涉及一种硅片清洗液及使用该清洗液清洗硅片的方法。背景技术[0002]随着常规能源的日益枯竭，清洁方便的太阳能电源越来越受到人们的关注。在太阳能电池制造工业中，硅片作为太阳能电池的核心部件，其各种性能参数的好坏直接影响太阳能电池的发电效率。太阳能电池的制备过程一般为：前道化学预处理；扩散制PN结；去边结处理(去PSG工艺)；镀氮化硅薄膜(ARC工艺)；丝网印刷正、背面电极；烧结及电极金属化及氮化硅膜烧穿处理。其中，前道化学预处理工艺包括硅片清洗工艺和制绒工艺，硅片清洗的好坏对后期制绒有很大影响，而好的绒面能更好地减少光反射，提高太阳能电池的发电效率，因此硅片清洗的结果对太阳能电池的性能好坏有着极大地影响。[0003]硅棒经过切片处理后，切成厚度为200μm左右的硅片，通常切好的硅片上面会存在各种杂质，这些杂质一般来源于切割线与硅片磨损的金属颗粒、切削液的残留物、以及搬运过程中的各种杂质沉淀等，这些杂质的存在将会影响后期的加工工艺，因此在太阳能电池的制备工艺中，硅片清洗工艺是至关重要的。[0004]目前，常用的硅片清洗工艺，一般都采用去离子水、氢氟酸以及乙醇来清洗，具体过程为：首先用去离子水清洗硅片，把硅片上的一些金属粒子、灰尘等物理颗粒清洗干净；然后用氢氟酸和乙醇的混合溶液，在一定温度下清洗硅片，把硅片上的有机杂质清洗干净。如中国公开的申请号为200810067515.8的发明专利申请“硅片清洗液及其清洗方法”(公开号为：CN101503650，公开日为：2009.08.12)，其公开了一种硅片清洗液，主要由乙醇和氢氟酸经混合配成，乙醇与氢氟酸的体积比为35～45∶1，乙醇的质量百分比浓度为18％～100％，氢氟酸由氟化氢和去离子水配成，其质量百分比浓度为48％～50％；其还公开了一种清洗硅片的方法，包括步骤：用去离子水清洗硅片；采用上述硅片清洗液清洗硅片。该发明的硅片清洗液及其清洗方法，能有效去除有机物沾污，提高氢氟酸清洗液的背面清洗效果；但其所使用的氢氟酸是一种具有毒性的挥发性液体，具有强烈的刺激性气味，这样