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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103988257103988257A(43)申请公布日2014.08.13(21)申请号201280042049.2(51)Int.Cl.(22)申请日2012.06.27G11B5/84(2006.01)B08B3/04(2006.01)(30)优先权数据C03C23/00(2006.01)2011-1462302011.06.30JP(85)PCT国际申请进入国家阶段日2014.02.27(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2012/0041412012.06.27(87)PCT国际申请的公布数据WO2013/001798JA2013.01.03(71)申请人HOYA株式会社地址日本东京都(72)发明人岛津典子福本直之(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人丁香兰孟伟青权权利要求书1页利要求书1页说明书10页说明书10页附图5页附图5页(54)发明名称HDD用玻璃基板的制造方法、HDD用玻璃基板以及HDD用磁记录介质(57)摘要本发明提供一种HDD用玻璃基板的制造方法,使清洗、干燥后的玻璃基板的外周端部不会残留缺陷。HDD用玻璃基板的制造方法包括用清洗液(31)清洗玻璃基板(50)的清洗工序,在清洗工序中,针对玻璃基板(50)使清洗液(31)沿着与玻璃基板(50)的主表面平行且彼此不同的多个方向依次流动,以便进行清洗。在清洗槽(30)的上下设置清洗液供给排出装置(32、33),使清洗液(31)在清洗槽(30)内,相对于玻璃基板(50)沿着上下方向中的从下向上的1个方向和从上向下的1个方向依次切换流动。CN103988257ACN10398257ACN103988257A权利要求书1/1页1.一种HDD用玻璃基板的制造方法,其特征在于包括:清洗工序,用清洗液清洗玻璃基板,其中,在清洗工序中,针对玻璃基板使清洗液沿着与玻璃基板的主表面平行且彼此不同的多个方向依次流动,以便进行清洗。2.根据权利要求1所述的HDD用玻璃基板的制造方法,其特征在于,使清洗液沿着玻璃基板的主表面的上下方向和横向方向流动。3.根据权利要求2所述的HDD用玻璃基板的制造方法,其特征在于,使清洗液沿着玻璃基板的主表面的上下方向彼此相反的2个方向和横向方向彼此相反的2个方向流动。4.根据权利要求1至3中任一项所述的HDD用玻璃基板的制造方法,其特征在于,在清洗工序中,将玻璃基板在其两侧端部和下端部的3处支撑着进行清洗,清洗后,在该状态下对玻璃基板进行干燥,所述支撑部相对于玻璃基板的中心各相隔90°。5.根据权利要求1至4中任一项所述的HDD用玻璃基板的制造方法,其特征在于,在清洗工序中,将玻璃基板用多个支撑用杆支撑着进行清洗,清洗后,在该状态下对玻璃基板进行干燥,在对于玻璃基板的所有支撑部,玻璃基板与支撑用杆必定接触。6.一种HDD用玻璃基板,其特征在于,利用权利要求1至5中任一项所述的HDD用玻璃基板的制造方法制得。7.一种HDD用磁记录介质,其特征在于,在权利要求6所述的HDD用玻璃基板的主表面上形成记录层而制得。2CN103988257A说明书1/10页HDD用玻璃基板的制造方法、HDD用玻璃基板以及HDD用磁记录介质技术领域[0001]本发明涉及一种HDD用玻璃基板的制造方法、HDD用玻璃基板以及HDD用磁记录介质。背景技术[0002]近年来,伴随着在HDD(harddiskdrive:硬盘驱动器)用磁记录介质中存储的信息的高密度化,磁头的悬浮高度日益减小,即使是数百nm的附着物也会引起头碰撞(headcrash)或热粗糙(thermalasperity)。尤其在搭载了DFH(dynamicflyingheight:动态飞行高度)机构的磁头的情况下,磁头的悬浮高度微小至数nm,从而强烈要求HDD用磁记录介质的清洁性。此外,伴随着记录区域的扩大,记录区域将扩展到记录介质的最外周部。因此,要求直至记录介质的最外周部为止的高清洁性。[0003]用于HDD用磁记录介质的基板的HDD用玻璃基板,在其制造过程中,在检查工序之前被用清洗液清洗。在该清洗工序中,玻璃基板例如在收容于称为清洗支架的专用容器内的状态下被放入清洗槽,在清洗槽内用清洗液冲洗。[0004]如专利文献1的记载所述,清洗支架的结构为:多个支撑用杆以指定的间隔相互平行地架设在一对对置壁之间。在各支撑用杆的周面,沿着周方向形成有凹槽。玻璃基板的两侧端部和下端部被3根支撑用杆支撑而被嵌入凹槽,以竖立的状态收容于清洗支架。清洗后,玻璃基板保持着收容于清洗支架的状态被加以干燥。[0005]先行技术文献[0006]专利文献[0007]专利文献1:日本专利公开公报特开2009-8