磁记录介质用玻璃基板的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102642161A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102642161A(43)申请公布日2012.08.22(21)申请号201210032781.3B24D3/06(2006.01)(22)申请日2012.02.14(30)优先权数据030986/20112011.02.16JP(71)申请人昭和电工株式会社地址日本东京都(72)发明人羽根田和幸(74)专利代理机构北京市中咨律师事务所11247代理人段承恩陈海红(51)Int.Cl.B24B7/24(2006.01)B24B9/08(2006.01)C09K3/14(2006.01)B24D3/28(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书1313页页附图附图44页(54)发明名称磁记录介质用玻璃基板的制造方法(57)摘要本发明提供一种磁记录介质用玻璃基板的制造方法，该制造方法在抛光工序中不使用氧化铈或者降低其使用量，并且可得到充分的耐冲击强度，同时能够以高的生产率制造这样的磁记录介质用玻璃基板。本发明的制造方法包括对于具有中心孔的圆盘状的玻璃基板的内外周端面至少实施磨削加工的工序，实施磨削加工的工序包括：使用将金刚石磨粒用由金属构成的粘结剂固定了的金属粘结金刚石砂轮，磨削玻璃基板的内外周端面的一次磨削加工；和使用将金刚石磨粒用由树脂构成的粘结剂固定了的树脂粘结金刚石砂轮，磨削玻璃基板的内外周端面的二次磨削加工。CN10264ACN102642161A权利要求书1/1页1.一种磁记录介质用玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括对于具有中心孔的圆盘状的玻璃基板的内外周端面至少实施磨削加工的工序，所述实施磨削加工的工序包括：使用将金刚石磨粒用由金属构成的粘结剂固定了的金属粘结金刚石砂轮，磨削所述玻璃基板的内外周端面的一次磨削加工；和使用将金刚石磨粒用由树脂构成的粘结剂固定了的树脂粘结金刚石砂轮，磨削所述玻璃基板的内外周端面的二次磨削加工。2.根据权利要求1所述的磁记录介质用玻璃基板的制造方法，其特征在于，还包括对所述玻璃基板的内外周端面实施蚀刻加工的工序。3.根据权利要求1或2所述的磁记录介质用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述实施蚀刻加工的工序在所述一次或二次磨削加工之后进行。4.根据权利要求1～3的任一项所述的磁记录介质用玻璃基板的制造方法，其特征在于，还包括对所述玻璃基板的内外周端面实施抛光加工的工序。5.根据权利要求4所述的磁记录介质用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述实施抛光加工的工序在所述二次磨削加工之后进行。6.根据权利要求4或5所述的磁记录介质用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述抛光加工不使用氧化铈作为研磨剂来进行。7.根据权利要求1～6的任一项所述的磁记录介质用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述金属粘结金刚石磨粒的所述金刚石磨粒的平均粒径为10μm～60μm，所述树脂粘结金刚石磨粒的所述金刚石磨粒的平均粒径为2μm～20μm。8.根据权利要求1～7的任一项所述的磁记录介质用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述金属粘结金刚石磨粒的所述粘结剂是镍或镍合金，所述树脂粘结金刚石磨粒的所述粘结剂是酚树脂。2CN102642161A说明书1/13页磁记录介质用玻璃基板的制造方法技术领域[0001]本发明涉及磁记录介质用玻璃基板的制造方法。背景技术[0002]硬盘驱动器(HDD)所使用的磁记录介质不断谋求其记录密度的显著提高。特别是导入MR磁头和PRML技术以来，面记录密度的上升进一步加剧，近年来也导入GMR磁头和TMR磁头等，正在以1年约1.5倍的速度持续增加，今后要求实现更高记录密度化。[0003]另外，随着这样的磁记录介质的记录密度的提高，对于该磁记录介质用基板的要求也在提高。作为磁记录介质用基板，一直以来使用铝合金基板和玻璃基板。其中，玻璃基板在其硬度、表面平滑性、刚性、耐冲击性方面一般比铝合金基板优异。因此，能够谋求高记录密度化的磁记录介质用玻璃基板的关注度在提高。[0004]制造磁记录介质用玻璃基板时，从大的板状的玻璃板切取圆盘状的玻璃基板，或者使用成型模具从熔融玻璃直接压制成型圆盘状的玻璃基板，对由此得到的玻璃基板的主面和端面实施磨光(lap，磨削)加工和抛光(polish，研磨)加工。[0005]另外，在以往的磁记录介质用玻璃基板的制造工序中，对玻璃基板的主面按顺序进行一次磨光加工(磨削)、二次磨光加工(磨削)、一次抛光加工(研磨)、二次抛光加工(研磨)。然后，在这些加工工序之间加上对玻璃基板的内外周的端面的磨削加工和抛光加工。[0006]再者，作为与本发明相关的现有技术文献，有例如下述专利文献1、2。具体地讲，在下述专利文献1中公开了通过实施使用砂轮的内外周端面磨削加工、和内外周