用于判定GOX击穿失效的样品制备方法.pdf

本发明提供的用于判定GOX击穿失效的样品制备方法，其在对隔绝氧化层进行机械研磨后使用BOE溶液腐蚀去除多晶硅层上剩余隔绝氧化层，降低了研磨处理伤害样品的风险，提高了样品处理的成功率；使得多晶硅层厚度均匀，便于后续步骤的控制；可以实现剩余隔离氧化层的完全去除，使得多晶硅层表面无氧化物残留，保证了样品的洁净度，使得SEM观察无干扰。同时采用新型高腐蚀选择比的碱性溶液腐蚀去除多晶硅层，由于腐蚀选择比高，腐蚀时间延长，使得腐蚀过程易于控制，最终可以呈现一个均匀、完整、洁净的GOX用于SEM进行全方位观察，大幅提高

2023-11-22

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芯片失效分析的样品制备方法及样品制备设备.pdf

本申请提供一种芯片失效分析的样品制备方法及样品制备设备。该方法在对待处理芯片的背面进行去除，直至得到暴露出所述待处理芯片中裸片的背面和芯片引线截面的处理后的芯片后，将处理后的芯片的正面固定在固定板上；采用预设的焊线机，基于配置的焊线调试参数，通过目标导线将芯片引线截面与分析电路板电连接。该方法克服了现有技术无法对失效芯片进行多焊点加电的失效分析，同时提高了失效分析效率。

2023-07-24

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一种用于GDMS检测的样品制备方法及样品.pdf

本发明涉及用于一种GDMS检测的样品制备方法及样品，包括以下步骤：步骤一，使用油污清洗液对试样进行超声清洗，去除试样表面有机物；步骤二，使用冲洗液对步骤一中超声清洗后的试样进行冲洗，去除有机物残留；步骤三，使用酸洗液对步骤二中冲洗后的试样进行超声酸洗；步骤四，使用杂质清洗液对步骤三中超声酸洗后的试样进行清洗，去除残留于试样表面的酸洗液和杂质；步骤五，将步骤四中清洗后的试样进行烘干。本发明采用超声清洗与超纯水冲洗配合，在烘干环节采用气体保护，很好的缓解了外部介质中的痕量杂质元素，提高检测过程中的准确性和稳定

2023-11-13

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一种预置失效击穿点的压敏电阻及其制备方法.pdf

本发明公开了一种预置失效击穿点的压敏电阻及其制备方法，它包括压敏电阻芯片，在所述压敏电阻芯片的平面上设有凹点或所述压敏电阻芯片的平面呈凹形，形成失效击穿点；其制备方法包括的步骤为：（1）先将配料造粒后的粉末压制成带有凹点或凹形的压敏电阻坯片；（2）再将压制过的压敏电阻坯片进行高温烧结，形成压敏电阻磁体；（3）将烧结后的压敏电阻磁体的两面覆盖金属电极，经高温炉后还原成具有电性能的压敏电阻芯片。本发明利用压敏电阻芯片的厚度决定导通电压，又决定使用电压的特性，在不影响其它参数指标下，人为的预先设定失效击穿点，以

2023-06-20

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用于不规则样品检测的激光诱导击穿光谱样品室.pdf

本发明公开一种用于不规则样品检测的激光诱导击穿光谱样品室，包括透明密闭的腔室，腔室的底部中间设有可旋转升降平移的位移台；所述腔室的顶部设有支撑架，所述支撑架包括两平行且同步的第一滚珠丝杠，每个第一滚珠丝杠上配合有滑块，两滑块之间搭接有第二滚珠丝杠，所述第二滚珠丝杠装配可移动的台架，所述台架上安装有进行线扫描测量以确定样品待测点Z坐标的激光测距传感器；所述腔室的两侧对称安装CCD相机，用于确定样品待测点的X、Y坐标。本发明实现了对不规则靶样品全方位、多角度坐标信息的采集，提高了激光烧蚀点的准确定位，避免了烧

2023-06-02

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