用于不规则样品检测的激光诱导击穿光谱样品室.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105784679A(43)申请公布日2016.07.20(21)申请号201610129845.X(22)申请日2016.03.08(71)申请人浙江大学地址310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号(72)发明人何勇陈欣欣刘子毅彭继宇(74)专利代理机构杭州天勤知识产权代理有限公司33224代理人胡红娟(51)Int.Cl.G01N21/71(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称用于不规则样品检测的激光诱导击穿光谱样品室(57)摘要本发明公开一种用于不规则样品检测的激光诱导击穿光谱样品室，包括透明密闭的腔室，腔室的底部中间设有可旋转升降平移的位移台；所述腔室的顶部设有支撑架，所述支撑架包括两平行且同步的第一滚珠丝杠，每个第一滚珠丝杠上配合有滑块，两滑块之间搭接有第二滚珠丝杠，所述第二滚珠丝杠装配可移动的台架，所述台架上安装有进行线扫描测量以确定样品待测点Z坐标的激光测距传感器；所述腔室的两侧对称安装CCD相机，用于确定样品待测点的X、Y坐标。本发明实现了对不规则靶样品全方位、多角度坐标信息的采集，提高了激光烧蚀点的准确定位，避免了烧蚀能量差异带来的误差。CN105784679ACN105784679A权利要求书1/1页1.一种用于不规则样品检测的激光诱导击穿光谱样品室，其特征在于，包括透明密闭的腔室，腔室的底部中间设有可旋转升降平移的位移台；所述腔室的顶部设有支撑架，所述支撑架包括两平行且同步的第一滚珠丝杠，每个第一滚珠丝杠上配合有滑块，两滑块之间搭接有第二滚珠丝杠，所述第二滚珠丝杠装上配有可移动的台架，所述台架上安装有进行线扫描测量以确定样品待测点Z坐标的激光测距传感器；所述腔室的两侧对称安装用于确定样品待测点X、Y坐标的CCD相机，所述CCD相机设置在可摆动的安装支架上。2.如权利要求1所述的激光诱导击穿光谱样品室，其特征在于，所述腔室的四周设置可升降的卷帘。3.如权利要求2所述的激光诱导击穿光谱样品室，其特征在于，所述的腔室由双层玻璃隔成。4.如权利要求1所述的激光诱导击穿光谱样品室，其特征在于，所述台架的底部设有固定激光测距传感器用的夹爪。5.如权利要求4所述的激光诱导击穿光谱样品室，其特征在于，所述的夹爪采用热塑性塑料材料。6.如权利要求1所述的激光诱导击穿光谱样品室，其特征在于，所述位移台上设有深度渐变的阶梯型凹槽，用于固定类球形物体。7.如权利要求1所述的激光诱导击穿光谱样品室，其特征在于，所述腔室内侧壁上安装有干燥器。2CN105784679A说明书1/3页用于不规则样品检测的激光诱导击穿光谱样品室技术领域[0001]本发明涉及激光诱导击穿光谱检测技术，尤其涉及一种用于不规则样品检测的激光诱导击穿光谱样品室。背景技术[0002]激光诱导击穿光谱(LaserInducedBreakdownSpectrocopy,LIBS)是近年来新兴的原子发射光谱技术，该技术无需复杂的样品前处理，分析速度快，可多元素同时分析，在线实时分析，远程分析等优点，而且可以进行极端外部环境下固体、液体及气体样品的组成分析，因而该技术今年来被给予了极大的关注。[0003]然而由于受激光能量，延迟时间和透镜到样品的距离等不可控的实验参数波动以及样品的化学和物理基本效应等许多复杂因素的影响，使得测量精度不够。当前对于特定的激光源，其脉冲宽度，激光波长等都已固定，激光能量的大小也可达到高稳定，所以控制好透镜到样品的距离现在已经成为提高样品检测精度的关键因素。对不规则样品若能及时修正焦点在距样品的距离可以大幅度的提高LIBS技术元素分析精度，进一步降低元素的检测限。[0004]当前对LIBS不规则样品的检测，大部分的实验仪器主要是通过激光对准，再通过位移台的微调进行；国外多款LIBS检测仪主要是使用单个CCD相机，获取样品图像，以上装置都无法实现样品三维图像的采集，完成不规则靶样品的精确坐标定位。发明内容[0005]为了解决背景技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种用于不规则样品检测的激光诱导击穿光谱样品室，旨在实现对不规则样品的检测，避免因样品表面不平度造成的烧蚀点到样品表面分析点距离的不一。[0006]为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：[0007]一种用于不规则样品检测的激光诱导击穿光谱样品室，包括透明密闭的腔室，腔室的底部中间设有可旋转升降平移的位移台；[0008]所述腔室的顶部设有支撑架，所述支撑架包括两平行且同步的第一滚珠丝杠，每个第一滚珠丝杠上配合有滑块，两滑块之间搭接有第二滚珠丝杠，所述第二滚珠丝杠装配有活动的台架，所述台架上安装有进行线扫描测量以确定样品待测点Z坐标的激光测距传感器；[0009]所述腔室的两侧对称