电镀液回收方法及装置.pdf
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电镀液回收方法及装置.pdf
本发明公开了一种电镀液回收方法及装置,所述电镀液回收方法,包括如下步骤:将线路板从电镀缸中提起移至回收缸上方;将回收缸上方的线路板倾斜,使线路板的底边与水平面呈大于0°且小于90°的夹角;线路板上残留的电镀液汇聚于线路板最低点后滴落至回收缸内。所述电镀液回收方法及装置,通过将回收缸上方的线路板倾斜,线路板的底边与水平面呈大于0°且小于90°的夹角,使得线路板上残留的电镀液在滴落过程中不会汇聚在一条边上停止不落下,而是汇聚于一角重力点集中加速下落,在单位时间内使得电镀液下落的量得以增加,从而提高电镀液回收率
电镀液的回收控制方法、系统、装置、设备及介质.pdf
本发明公开了一种电镀液的回收控制方法、系统、装置、设备及介质,所述回收控制方法用于将晶圆清洗后电镀腔内的电镀液回收至工艺槽或回收槽,包括如下步骤:分别关闭连通电镀腔与工艺槽的第一阀门和连通电镀腔和回收槽的第二阀门;若晶圆清洗结束时电镀腔内的电镀液回收至工艺槽的次数尚未达到预设次数阈值,则将第一阀门打开第一预设时长,以使电镀液回收至工艺槽;预设次数阈值根据工艺槽内的电镀液在单位时长内的挥发量确定。本发明通过对晶圆清洗过程中的残留药液流向的合理设置,结合对于工艺槽中药液蒸发情况的精确分析,能够在晶圆清洗过程中
一种甲基磺酸锡系电镀液的回收装置及方法.pdf
本发明涉及一种甲基磺酸锡系电镀液的回收装置及方法,包括镀液漂洗系统、镀液循环槽、废水坑、废水排放管道以及蒸发器,镀液漂洗系统上方设有MSA原液加料装置,镀液循环槽通过第一镀液循环管道与蒸发器相连,蒸发器通过第二镀液循环管道与镀液循环槽相连;镀液漂洗系统包括从左往右依次设置,且高度逐渐减小的第三逆流漂洗槽、第二逆流漂洗槽、第一逆流漂洗槽,第一逆流漂洗槽下端设有第一放液管道,第二逆流漂洗槽下端设有第二放液管道,第三逆流漂洗槽下端设有第三放液管道、第四放液管道;本发明在提高连续电镀锡机组甲基磺酸锡系电镀液回收效
一种高效甲基磺酸锡系电镀液的回收装置及回收方法.pdf
本发明涉及一种高效甲基磺酸锡系电镀液的回收装置,包括镀液漂洗系统,镀液循环槽,镀液存储槽,废水坑,废水排放管道以及蒸发器,废水排放管道与废水坑相连,镀液漂洗系统上方设有MSA原液加料装置,镀液循环槽通过取液管道、取液阀门和取液泵与镀液存储槽相连,镀液循环槽和镀液存储槽通过第一镀液循环管道第一支管、第一镀液循环槽管道第二支管及第一镀液循环管道总管与蒸发器相连,蒸发器通过第二镀液循环管道总管、第二镀液循环管道第一支管和第二镀液循环管道第二支管与镀液循环槽和镀液存储槽相连,该技术方案解决了现有技术中存在的问题,
一种挡水装置及电镀液回收系统.pdf
本发明提供一种挡水装置及电镀液回收系统,包括底座、相对设置的两个安装座、挡水辊、回流槽和储液槽。相对的两个挡水辊与各自所在的弧形凹槽内壁面之间留有缝隙,板材通过挡水辊之间的过板间隙时,电镀槽中的电镀液分别通过两侧挡水辊的缝隙和过板间隙形成分流,一部分电镀液进入缝隙中并经第一排液口排出,减少了电镀液随着板材移动仅从过板间隙中流出时受到的压力差,减少了电镀液在挡水辊出口处俯冲下去溅射在下方装置上从而形成的气泡,电镀液回收系统中,通过支撑盒、隔离罩以及排液管上多个弯曲部的设置,以减少电镀液流经时的落差,在回收电