一种挡水装置及电镀液回收系统.pdf
一吃****新冬
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一种挡水装置及电镀液回收系统.pdf
本发明提供一种挡水装置及电镀液回收系统,包括底座、相对设置的两个安装座、挡水辊、回流槽和储液槽。相对的两个挡水辊与各自所在的弧形凹槽内壁面之间留有缝隙,板材通过挡水辊之间的过板间隙时,电镀槽中的电镀液分别通过两侧挡水辊的缝隙和过板间隙形成分流,一部分电镀液进入缝隙中并经第一排液口排出,减少了电镀液随着板材移动仅从过板间隙中流出时受到的压力差,减少了电镀液在挡水辊出口处俯冲下去溅射在下方装置上从而形成的气泡,电镀液回收系统中,通过支撑盒、隔离罩以及排液管上多个弯曲部的设置,以减少电镀液流经时的落差,在回收电
一种电镀槽内过线路板的挡水装置及垂直电镀系统.pdf
本发明公开一种电镀槽内过线路板的挡水装置及垂直电镀系统,挡水装置包括支撑座、第一挡水滚轮和第二挡水滚轮。第一挡水滚轮和第二挡水滚轮均采用不吸水的弹性材质制成,沿竖直方向,可转动地安装在支撑座上立板的同一侧,相对侧相互挤压设置,挤压面作为密封面,且适于线路板穿过。垂直电镀系统包括上述的挡水装置。当线路板从挤压面穿过时,在线路板的顶部和底部处对应的第一挡水滚轮与第二挡水滚轮的过渡段,在线路板的撑开作用下,该过渡段处的第一挡水滚轮与第二挡水滚轮之间的挤压程度被降低,在两个挡水滚轮本身的挤压作用下,仍处于密封状态
一种挡水装置及垂直电镀设备.pdf
本发明适用于线路板电镀设备技术领域,提供了一种挡水装置及垂直电镀设备,该挡水装置包括固定架、支撑板、传动导杆、驱动机构、转动组件、传动轴、堵水组件和齿轮组。本发明通过将传动导杆的一端固定在支撑板上,驱动机构带动支撑板转动时,传动导杆的自由端可拨动转动组件实现转动;又转动组件上设置的传动轴通过齿轮组与堵水组件相连,转动组件转动的同时带动传动轴的转动,通过齿轮组也可一并带动堵水组件的转动,堵水组件可供支撑板上的线路板穿过。因此,只通过驱动机构就可同时带动支撑板和堵水组件的同步转动,可有效提高支撑板和堵水组件转
电镀液的回收控制方法、系统、装置、设备及介质.pdf
本发明公开了一种电镀液的回收控制方法、系统、装置、设备及介质,所述回收控制方法用于将晶圆清洗后电镀腔内的电镀液回收至工艺槽或回收槽,包括如下步骤:分别关闭连通电镀腔与工艺槽的第一阀门和连通电镀腔和回收槽的第二阀门;若晶圆清洗结束时电镀腔内的电镀液回收至工艺槽的次数尚未达到预设次数阈值,则将第一阀门打开第一预设时长,以使电镀液回收至工艺槽;预设次数阈值根据工艺槽内的电镀液在单位时长内的挥发量确定。本发明通过对晶圆清洗过程中的残留药液流向的合理设置,结合对于工艺槽中药液蒸发情况的精确分析,能够在晶圆清洗过程中
一种电镀漂洗水回收装置.pdf
本发明公开了一种电镀漂洗水回收装置,包括用于漂洗工件的漂洗池,在漂洗池的内部设有腔体,且分隔为第一槽体、第二槽体和第三槽体;在所述第一槽体的顶部开设有补水口和回收水入口,在所述第二槽体的底部开设有回收口,回收口用于回收漂洗池中可回收的漂洗用水,在所述回收口处安装有回收管路,回收管路的一端与回收口连通,回收管路的另一端与电镀漂洗水回收组件连接;在所述电镀漂洗水回收组件的出口端设有浓缩排水口和回收出水口,浓缩排水口通过排水管路与第三槽体连通,回收出水口通过回收出水管路与回收水入口连通;在所述第三槽体的外侧开设