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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106701343A(43)申请公布日2017.05.24(21)申请号201611123366.3(22)申请日2016.12.08(71)申请人深圳市合明科技有限公司地址518054广东省深圳市南山区登良路南油天安工业区5栋3D(72)发明人郭艳萍黄霖(74)专利代理机构深圳中一专利商标事务所44237代理人左光明(51)Int.Cl.C11D1/83(2006.01)C11D3/20(2006.01)C11D3/60(2006.01)H01L21/02(2006.01)权利要求书1页说明书10页(54)发明名称中性水基清洗剂及其制备方法和半导体封装清洗方法(57)摘要本发明公开了一种中性水基清洗剂及其制备方法和半导体封装清洗方法。本发明中性水基清洗剂由以下质量百分含量的成分组成:非离子表面活性剂0.5-2%、阴离子表面活性剂0.5-2%、醇醚类溶剂15-30%、水溶性有机弱酸0.05-0.2%、去离子水余量。本发明中性水基清洗剂清洗能力特别是对半导体器件上焊接后残留有优异的清洗能力,对其他污染物有也良好的去污能力,在此基础上其对敏感金属和特殊功能脆弱材料有良好的兼容性和保护作用,而且还具有环保,无闪点、安全等优点。其制备方法工艺条件易控,制备的中性水基清洗剂性能稳定。半导体封装清洗方法清洗效果好。CN106701343ACN106701343A权利要求书1/1页1.一种中性水基清洗剂,其特征在于:其由以下质量百分含量的成分组成:2.如权利要求1所述的中性水基清洗剂,其特征在于:所述非离子表面活性剂选用椰油酰二乙醇胺、聚氧乙烯烷醇酰胺中的至少一种。3.如权利要求2所述的中性水基清洗剂,其特征在于:所述椰油酰二乙醇胺为椰油和二乙醇胺按照摩尔比为1:1或1:2反应获得的椰油酰二乙醇胺;所述聚氧乙烯烷醇酰胺选用如下结构式的聚氧乙烯烷醇酰胺:其中,R为C10-12的烷基,n为4-6的正整数。4.如权利要求3所述的中性水基清洗剂,其特征在于:所述R为C10的烷基,n=6。5.如权利要求1-4任一所述的中性水基清洗剂,其特征在于:所述阴离子表面活性剂选用脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸酯盐(AES)、脂肪酸甲酯磺酸盐(MES)中至少一种。6.如权利要求1-4任一所述的中性水基清洗剂,其特征在于:所述醇醚类溶剂选用丙二醇醚类溶剂。7.如权利要求1-4任一所述的中性水基清洗剂,其特征在于:所述丙二醇醚类为丙二醇甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二丙二醇丁醚、二丙二醇二甲醚中至少一种。8.如权利要求1-4任一所述的中性水基清洗剂,其特征在于:所述水溶性有机弱酸为柠檬酸、马来酸、乳酸、冰醋酸中的至少一种。9.一种中性清洗剂的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:按照权利要求1-8任一所述的中性水基清洗剂所含的成分和含量比例分别量取各成分原料;除去离子水之外,将称取的其余所述成分原料进行混料处理,后与去离子水进行再次混料处理。10.一种半导体封装清洗方法,包括采用权利要求1-8任一所述的中性水基清洗剂或权利要求9所述的制备方法制备的中性水基清洗剂对半导体封装进行清洗的步骤。2CN106701343A说明书1/10页中性水基清洗剂及其制备方法和半导体封装清洗方法技术领域[0001]本发明涉及工业清洗剂技术领域,具体涉及一种中性水基清洗剂及其制备方法和半导体封装清洗方法。背景技术[0002]半导体作为现代电子工业发展的基础及支撑,在电子工业的应用和所选用的材料也越来越广泛。但随着半导体产品的集成化、高精密、高可靠性的要求不断提高,对半导体封装清洗业的关注度和清洗的可靠性也越来越高。半导体器件封装过程中通常会使用助焊剂和锡膏等作为焊接辅料,这些辅料在焊接过程或多或少都会有部分残留物,还包括制程中沾污的指印、汗液、角质和尘埃等污染物。残留物和污染物成分复杂且在空气氧化和湿气作用下特别在高温高湿的环境下对器件的损伤大、危害大且持续时长。为了确保半导体器件的品质和高可靠性,必须在封装工艺引入清洗工序和使用清洗剂。[0003]目前半导体器件封装业的清洗剂主要是采用偏碱性水基清洗剂包括中强碱性水基清洗剂和弱碱性水基清洗剂。半导体封装焊接辅料残留物主要是松香和有机酸,松香和有机酸都含有羧基能在中强碱性条件下发生皂化反应生成易溶于水的有机盐,因此中强碱性清洗剂对半导体器件的残留物有良好的清洗效果。但随着半导体的发展和特殊功能的需求,一些器件上组装了铝、铜、铂、镍等敏感金属和油墨字符、电磁碳膜和特殊标签等相当脆弱的功能材料。这些敏感金属和特殊功能材料在中强碱性环境下,容易被氧化变色或溶胀变形或脱落等,因此限制了中强碱性水清洗剂在半导体封装清洗业的使用。弱碱性水基清洗剂可能对部分敏感金属和特殊功能材料有部分