OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107179654A(43)申请公布日2017.09.19(21)申请号201610139686.1(22)申请日2016.03.11(71)申请人上海和辉光电有限公司地址201500上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室(72)发明人洪定洋(74)专利代理机构上海隆天律师事务所31282代理人臧云霄钟宗(51)Int.Cl.G03F7/30(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备(57)摘要本发明提供了一种OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备，所述OLED面板具有包括一第一侧和相对所述第一侧的一第二侧的基板，显影方法包括以下步骤：从所述基板的所述第一侧向所述第二侧喷布显影液进行显影，其中所述基板处于水平状态；显影完成后，抬起所述基板的所述第一侧，使所述基板的所述第一侧水平位置高于所述第二侧；以及从所述基板的所述第二侧向所述第一侧进行水洗，以清除所述基板上的所述显影液。本发明通过调节显影液在面板上的停留时间，从而控制面板从第一侧到第二侧之间的光阻图案的线型的粗细，以此补偿OLED面板两侧的电压降，保证OLED面板的亮度均匀。CN107179654ACN107179654A权利要求书1/1页1.一种OLED面板的显影方法，所述OLED面板具有包括一第一侧和相对所述第一侧的一第二侧的基板，其特征在于，包括以下步骤：步骤(1)：从所述基板的所述第一侧向所述第二侧喷布显影液进行显影，其中所述基板处于水平状态；步骤(2)：显影完成后，抬起所述基板的所述第一侧，使所述基板的所述第一侧水平位置高于所述第二侧；以及步骤(3)：从所述基板的所述第二侧向所述第一侧进行水洗，以清除所述基板上的所述显影液。2.如权利要求1所述的OLED面板的显影方法，其特征在于：所述步骤(1)中，所述基板上具有经过曝光的光阻图案。3.如权利要求1所述的OLED面板的显影方法，其特征在于：所述步骤(2)中，所述基板与水平面之间夹角范围是10°至30°。4.如权利要求3所述的OLED面板的显影方法，其特征在于：所述基板与水平面之间夹角是20°。5.如权利要求1所述的OLED面板的显影方法，其特征在于：所述步骤(3)中，水洗的碰洒方向平行于基板。6.一种OLED面板，其特征在于，由如权利要求1至5中任意一项所述的OLED面板的显影方法制得，包括：第一侧和相对的第二侧，所述第一侧设有集成电路，其中，越靠近所述第一侧的光阻图案的线型宽度越细，越靠近所述第二侧的光阻图案的线型宽度越宽。7.如权利要求6所述的OLED面板，其特征在于：所述第一侧与所述第二侧之间的电压降为零。8.如权利要求6所述的OLED面板，其特征在于：所述集成电路连接一移动终端的主板。9.一种OLED面板制造设备，其特征在于，包括一显影液喷布装置和一水洗装置；所述显影液喷布装置从第一方向对所述OLED面板喷布显影液，所述水洗装置从第二方向对所述OLED面板进行水洗，洗去显影液，其中所述第一方向与第二方向的方向相反。10.如权利要求9所述的OLED面板制造设备，其特征在于：更包括一抬举装置，所述抬举装置用以抬起所述OLED面板的一侧，使所述OLED面板的平面与水平面呈现一夹角。11.如权利要求10所述的OLED面板制造设备，其特征在于：所述夹角为10°至30°。2CN107179654A说明书1/5页OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备技术领域[0001]本发明涉及OLED面板制程领域，尤其涉及一种OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备。背景技术[0002]现有技术的OLED面板制程中需要在一个玻璃大板上同时制作多块OLED面板，OLED面板呈矩阵排列在玻璃大板上。现有技术的OLED面板的显影方法中包含喷布显影液和水洗两个步骤，会由喷布显影液的设备从玻璃大板的一侧向另一个进行喷布，并且水洗设备也会从玻璃大板的一侧向另一个进行水洗，洗去显影液。[0003]目前的显影方法中喷布显影液的进行方向A与水洗的进行方向B是相同的。图1为现有技术的OLED面板的显影方法的流程图。如图1所示，现有的OLED面板的显影方法的流程包括以下步骤[0004]步骤S10’：从基板的第一侧H向第二侧L喷布显影液进行显影，所述基板处于水平状态。[0005]步骤S20’：显影完成后，抬起所述基板的第一侧H(参见图2，抬高基板的方向为C)，使所述基板相对于水平面倾斜。[0006]步骤S30’：从基板的第一侧H向第二侧L进行水洗，清除显影液。[0007]图2为现有技术的OLED面板显影过程中的示意图。图3为现有技术的OLED面板显影过程中的俯视图。如图2