一种显示屏用酸性蚀刻液.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107620066A(43)申请公布日2018.01.23(21)申请号201710825401.4(22)申请日2017.09.14(71)申请人合肥惠科金扬科技有限公司地址230000安徽省合肥市新站区九顶山路与奎河路交口东北角(72)发明人白航空(51)Int.Cl.C23F1/16(2006.01)权利要求书1页说明书2页(54)发明名称一种显示屏用酸性蚀刻液(57)摘要本发明公开了一种显示屏用酸性蚀刻液，其是由如下重量百分比的原料组成：硝酸23-25％、氢氟酸30-50％、磷酸盐5-14％、醋酸5-25％、含氟化合物0.01-3％、三氯化铁1.2-1.8％、氟化铵8.5-9.4％、表面活性剂8-12％、添加剂5-8％和去离子水。本发明在蚀刻液中加入含氟化合物和合适的添加剂，不引入任何金属离子和阴离子，蚀刻后的氧化层表面无残留，且能赋予蚀刻液较低的表面张力，增大蚀刻液渗透性；表面活性剂具有高表面活性疏水疏油的性质，与等量的其他表面活性剂相比，能极大的降低溶液的表面张力，因此其用量少，生产成本较低。CN107620066ACN107620066A权利要求书1/1页1.一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于，其是由如下重量百分比的原料组成：硝酸23-25％、氢氟酸30-50％、磷酸盐5-14％、醋酸5-25％、含氟化合物0.01-3％、三氯化铁1.2-1.8％、氟化铵8.5-9.4％、表面活性剂8-12％、添加剂5-8％和去离子水。2.根据权利要求1所述的一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于：所述含氟化合物为选自由氟化铵、氟化钠、氟化磷酸、氟化氢铵、二氟氢化钠及二氟化磷酸所组成的组中的一种或两种以上。3.根据权利要求1所述的所述一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于：所述磷酸盐为选自由磷酸氢二铵及磷酸二氢钾所组成的组中的一种或两种以上。4.根据权利要求1所述的一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于：所述添加剂为聚乙二醇单全氟壬烯基醚、全氟己基磺酸聚甘油酯、辛胺、聚甘油全氟壬烯基醚、聚乙二醇全氟壬烯基甲基醚、全氟己基磺酸聚乙二醇酯中的一种或几种。5.根据权利要求1所述的一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于：所述表面活性剂为N-烷基葡糖酰胺、聚异丁烯/马来酸酐衍生物、N-芳氧基多羟基-脂肪酸酰胺中的一种或几种混合物。2CN107620066A说明书1/2页一种显示屏用酸性蚀刻液技术领域[0001]本发明涉及蚀刻液技术领域，具体涉及一种显示屏用酸性蚀刻液。背景技术[0002]平板显示装置中，在基板上形成金属配线的过程通常包括以下工序：溅射形成金属膜；在金属膜上涂覆、曝光、显影光致抗蚀剂，从而在选择性区域形成光致抗蚀剂；及对金属膜进行蚀刻。另外，还包括个别单位工序前后的洗净工序等。这种蚀刻工序是指将光致抗蚀剂用作掩膜，以在选择性区域残留金属膜的工序。通常采用的蚀刻工序为使用等离子等的干式蚀刻、或使用蚀刻液的湿式蚀刻。发明内容[0003]本发明旨在提供了一种显示屏用酸性蚀刻液。[0004]本发明提供如下技术方案：[0005]一种显示屏用酸性蚀刻液，其是由如下重量百分比的原料组成：硝酸23-25％、氢氟酸30-50％、磷酸盐5-14％、醋酸5-25％、含氟化合物0.01-3％、三氯化铁1.2-1.8％、氟化铵8.5-9.4％、表面活性剂8-12％、添加剂5-8％和去离子水。[0006]所述含氟化合物为选自由氟化铵、氟化钠、氟化磷酸、氟化氢铵、二氟氢化钠及二氟化磷酸所组成的组中的一种或两种以上。[0007]所述磷酸盐为选自由磷酸氢二铵及磷酸二氢钾所组成的组中的一种或两种以上。[0008]所述添加剂为聚乙二醇单全氟壬烯基醚、全氟己基磺酸聚甘油酯、辛胺、聚甘油全氟壬烯基醚、聚乙二醇全氟壬烯基甲基醚、全氟己基磺酸聚乙二醇酯中的一种或几种。[0009]所述表面活性剂为N-烷基葡糖酰胺、聚异丁烯/马来酸酐衍生物、N-芳氧基多羟基-脂肪酸酰胺中的一种或几种混合物。[0010]与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明在蚀刻液中加入含氟化合物和合适的添加剂，不引入任何金属离子和阴离子，蚀刻后的氧化层表面无残留，且能赋予蚀刻液较低的表面张力，增大蚀刻液渗透性；表面活性剂具有高表面活性疏水疏油的性质，与等量的其他表面活性剂相比，能极大的降低溶液的表面张力，因此其用量少，生产成本较低。具体实施方式[0011]下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。[0012]实施例1一种显示屏用酸性蚀刻