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一种光学真空镀膜机内腔清洁方法.pdf
2023-11-17
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一种光学真空镀膜机内腔清洁方法.pdf
本发明提供一种光学真空镀膜机内腔清洁方法，涉及光学元件真空镀膜领域，清洁方法如下：用钢丝刷清除光学真空镀膜机内腔及夹具上的残留镀膜，使用腐蚀剂对光学真空镀膜机内腔及夹具冲刷30‑40min，持续用去离子水一次冲洗10‑20min后，在去离子水中通入惰性气体，升温后继续二次冲洗40‑50min，将夹具放入超声波机器中，升温后震荡清洗10‑20min，待光学真空镀膜机内腔及夹具通过流动的热风蒸发干燥后重新安装回系统内，结束清洗工作，本发明通过物理方法与化学方法的双重结合，实现对光学真空镀膜机内腔及其夹具上残留
2023-11-17
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