一种图案化的电极层、电极层的图案化方法、显示装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108597648A(43)申请公布日2018.09.28(21)申请号201810004289.2(22)申请日2018.01.03(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号(72)发明人郭康(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人柴亮张天舒(51)Int.Cl.H01B5/14(2006.01)H01B1/04(2006.01)H01B13/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种图案化的电极层、电极层的图案化方法、显示装置(57)摘要本发明提供一种图案化的电极层、电极层的图案化方法、显示装置，属于显示技术领域，其可解决现有的刻蚀工艺图案化的透明电极在有电极和无电极的位置的光学对比度存在差异的问题。本发明的图案化的电极层采用非刻蚀手段对导电材料进行图案化工艺，通过使未经保护的导电材料绝缘化，使电极层在保持薄膜完整性的同时实现部分区域导电和区域部分绝缘的图案化，本发明的相邻的电极图案间有与其同层的绝缘图案，绝缘图案的光学性能与电极图案的光学性能差异较小，故光通过本发明的电极层时，在导电图案与绝缘图案的光学对比度差异较小。此外，本发明的图案化的电极层的方法中未使用光刻胶，不存在光刻胶残留以及光刻胶剥离液增大电极方阻的问题。CN108597648ACN108597648A权利要求书1/1页1.一种图案化的电极层，其特征在于，包括多个电极图案，任意两相邻的所述电极图案之间设有与所述电极图案同层形成的绝缘图案，所述电极图案由导电材料构成，所述绝缘图案由经过绝缘化处理的所述导电材料构成。2.根据权利要求1所述的图案化的电极层，其特征在于，所述导电材料包括石墨烯。3.根据权利要求2所述的图案化的电极层，其特征在于，所述电极层为柔性电极层。4.根据权利要求1所述的图案化的电极层，其特征在于，所述电极图案与所述绝缘图案为一体成型结构；所述绝缘图案将各个所述电极图案之间的间隙完全填充。5.根据权利要求1所述的图案化的电极层，其特征在于，所述电极图案和所述绝缘图案均透明。6.一种电极层的图案化方法，其特征在于，包括以下步骤：提供导电材料预结构层，所述导电材料预结构层包括多个第一区域，任意两相邻的所述第一区域之间设有第二区域；在第一区域的导电材料预结构层的第一侧形成保护层；对第二区域的导电材料预结构层的第一侧进行绝缘化处理，得到绝缘图案，而第一区域的导电材料预结构层得到电极图案；除去所述保护层，得到图案化的电极层。7.根据权利要求6所述的电极层的图案化方法，其特征在于，所述导电材料预结构层由透明导电材料构成；所述透明导电材料包括石墨烯；所述保护层由金属材料构成。8.根据权利要求7所述的电极层的图案化方法，其特征在于，所述进行绝缘化处理包括采用氢气进行等离子处理；所述氢气进行等离子处理的条件是氢气流量在100～300sccm范围内，压力在200～400mTorr范围内，处理时间在30～1200s范围内。9.根据权利要求6所述的电极层的图案化方法，其特征在于，所述形成保护层包括采用蒸镀的方法形成；所述除去所述第一区域内的保护层包括采用刻蚀的方法除去第一区域内的保护层。10.一种显示装置，其特征在于，包括透明电极层，所述透明电极层包括权利要求1-5任一项所述的图案化的电极层。2CN108597648A说明书1/4页一种图案化的电极层、电极层的图案化方法、显示装置技术领域[0001]本发明属于显示技术领域，具体涉及一种图案化的电极层、电极层的图案化方法、显示装置。背景技术[0002]随着电子器件的迅速发展，可弯折的电子器件，如柔性触摸屏、柔性显示器等新型电子器件已经逐渐走入了人们的生活。作为这些柔性显示器件的重要组成部分，透明电极也相应背负上了柔性化的使命。目前，广泛使用的商业化透明电极多为氧化铟锡(ITO)等透明导电材料。[0003]发明人发现现有技术中至少存在如下问题：现有技术中主要采用激光刻蚀和光刻工艺得到的图案化的透明电极，即在部分区域将透明导电材料除去，而剩余的透明导电材料即为图案化的透明电极，但是，虽然透明电极理论上透明，但其不可避免的对光仍有一定的影响，故在有电极和无电极的位置，透过光线的对比度仍然存在一定差异。此外，激光刻蚀存在难以大面积制备等缺点，而光刻工艺还存在光刻胶残留和光刻剥离液的使用会增大透明电极方阻的问题。发明内容[0004]本发明针对现有的刻蚀工艺图案化的透明电极在有电极和无电极的位置的光学对比度存在差异的问题，提供一种图案化的电极层、电极层的图案化方法、显示装置。[0005]解决本发明技术问题所采用的技术方案是：[0006]一种图案化的电极层，包