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一种图案化电极的制备方法.pdf

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本申请属于电极器件技术领域,尤其涉及一种图案化电极的制备方法,本申请的制备方法,包括:在衬底上制备图案,得到第一衬底;图案的线条宽度为1～500μm;将熔融态的目标衬底材料覆盖在第一衬底的图案面上,待目标衬底材料凝固后得到第二衬底;将第二衬底置于低温环境中冷冻处理,待目标衬底材料玻璃化后,将目标衬底材料从第一衬底上剥离,得到图案化电极。本申请提供了一种图案化电极的制备方法,能有效解决现有转移碳纳米管、纳米银线等材料制备图案化电极中存在的图案精度下降,转移不完整,甚至引入残胶等杂质的技术问题,并且对原衬底和目标衬底材料的选择具有普适性,尤其适用于薄膜晶体管和OLED显示设备等微电子制造领域。