高效电池退火工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108878289A(43)申请公布日2018.11.23(21)申请号201810622327.0(22)申请日2018.06.15(71)申请人常州亿晶光电科技有限公司地址213000江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号(72)发明人袁华斌王晨符亮张凯胜姚伟忠孙铁囤(74)专利代理机构常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258代理人朱丽莎(51)Int.Cl.H01L21/324(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称高效电池退火工艺(57)摘要本发明涉及太阳能电池片生产技术领域，尤其涉及一种高效电池退火工艺，通过对背钝化后的硅片进行升温烘干，通过负压通气，在步骤4)至6)中一直保持负压状态，将水汽彻底去除干净；通过梯度降温的方式，能够将硅片体内的杂质更充分地析出，减少缺陷与复合；本发明和不使用退火工艺对比，硅片背面无水汽残留，开压平均提高了11mV,电流平均提高了42mA，转换效率提高了0.55％。CN108878289ACN108878289A权利要求书1/1页1.一种高效电池退火工艺，其特征在于：包括如下步骤：1)进舟：管内温度控制在600℃±10℃，通有5±0.05L/min的氮气，压力值为100±0.2Kpa，时间800s，进舟速度为800±10mm/min；2)抽真空：管内温度控制在600℃±10℃，无气体通入，真空泵工作，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；3)检漏：管内温度控制在600℃±10℃，无气体通入，真空泵停止工作，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间60s；4)一次升温：管内设定温度控制在850℃±10℃，升温速率为15±1℃/min，通有2±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间1000s；5)恒温：管内设定温度控制在850℃±10℃，并通有2±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间600s；6)降温：水冷梯度降温，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间1800s；7)充气：管内温度控制在760℃±10℃，降温速率为20±5℃/min，通有3±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间200s；8)出舟：管内温度控制在800℃±10℃，通有2±0.05L/min的氮气，炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间800s，出舟速度为800±10mm/min。2.如权利要求1所述的高效电池退火工艺，其特征在于：所述步骤6)中的水冷梯度降温为：先降温至750℃±3℃，降温速率为2℃/min，降温后恒温5min，再降温至650℃±3℃，降温速率为2℃/min，降温后恒温5min，再降温至550℃±3℃，降温速率为2℃/min，恒温5min，最后降温至450℃±3℃，降温速率为2℃/min，降温后恒温5min，并通有2±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间1800s。2CN108878289A说明书1/3页高效电池退火工艺技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池片生产技术领域，尤其涉及一种高效电池退火工艺。背景技术[0002]高效电池片的生产相对于普通电池片生产，主要对硅片背面进行了钝化处理，附着一层三氧化二铝薄膜，大幅度提高硅片对光线的长波响应，从而提高电池片的效率。[0003]背面钝化工艺是利用三甲基铝与水反应生成三氧化二铝和甲烷，三氧化二铝沉积在片子背面沉积形成钝化层，由于反应过程中存在水的参与，在工艺结束后，很容易造成水汽残留，影响电池片的开压与背钝化效果。[0004]其次，在电池片生产过程中，硅片内部存在许多杂质，形成大量复合、缺陷，影响电池片的开压与电流，从而电池片整体效率。发明内容[0005]本发明要解决的技术问题是：为了解决现有技术中背面钝化工艺后残留水汽多以及硅片内部杂质较多的技术问题，本发明提供一种高效电池退火工艺。[0006]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种高效电池退火工艺，包括如下步骤：[0007]1)进舟：管内温度控制在600℃±10℃，通有5±0.05L/min的氮气，压力值为100±0.2Kpa，时间800s，进舟速度为800±10mm/min；[0008]2)抽真空：管内温度控制在600℃±10℃，无气体通入，真空泵工作，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；[0009]3)检漏：管内温度控制在600℃±10℃，无气体通入，真空泵停止工作，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间60s；[0010]4)一次升温：管内设定温度控制在850℃±10℃，升温速率