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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107146828A(43)申请公布日2017.09.08(21)申请号201710336120.2(22)申请日2017.05.12(71)申请人北京金晟阳光科技有限公司地址100102北京市朝阳区利泽中园望京科技园E座403B申请人莱芜金晟阳光精密设备有限公司(72)发明人袁向东孔令建黄英明宋维素许颖袁瑒(74)专利代理机构青岛发思特专利商标代理有限公司37212代理人马俊荣(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉(57)摘要本发明涉及一种均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,包括炉体,炉体包括上炉体和下炉体,上炉体内至少设置一组光源,相邻两组光源之间或者光源与上炉体框架之间设置有进风口,对应进风口在其下方设置导流板,下炉体中设置电池片传输装置,电池片在电池片传输装置上水平传输并接受光源照射,电池片下方的下炉体上设置有出风口,出风口外接抽风装置,炉体内设置温度传感器,光源、电池片传输装置、抽风装置和温度传感器连接控制器。本发明结构简单,设计合理,可以对电池片的处理温度进行均匀控制,解决了辐照处理效果不均匀的问题,可以在30S时间内完成辐照退火处理,并且将LID控制在1%以内,缩短了处理时间,提高了退火效果和生产效率。CN107146828ACN107146828A权利要求书1/1页1.一种均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,包括炉体,其特征在于:炉体包括上炉体(1)和下炉体(11),上炉体(1)内至少设置一组光源(3),相邻两组光源(3)之间或者光源(3)与上炉体框架之间设置有进风口(12),对应进风口(12)在其下方设置上导流板(4),下炉体(11)中设置电池片传输装置(6),电池片(5)在电池片传输装置(6)上水平传输并接受光源(3)照射,电池片(5)下方的下炉体(11)上设置有出风口(9),出风口(9)外接抽风装置(10),炉体内设置温度传感器(16),光源(3)、电池片传输装置(6)、抽风装置(10)和温度传感器(16)连接控制器。2.根据权利要求1所述的均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,其特征在于:所述的电池片传输装置(6)为一组水平排列的辊道或循环进出辐照退火炉的网带。3.根据权利要求1或2所述的均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,其特征在于:所述的电池片传输装置(6)采用空心辊道,空心辊道至少一端设置有旋转接头(13),旋转接头(13)与空心辊道的内部空腔相连通。4.根据权利要求1或2所述的均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,其特征在于:所述的电池片传输装置(6)的下方设置有下导流板(7)。5.根据权利要求1所述的均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,其特征在于:所述的出风口(9)的上方或者来风方向的前方设置有电池碎片防护装置(8)。6.根据权利要求1所述的均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,其特征在于:所述的进风口(12)的上方设置有风量调节装置(15)。7.根据权利要求1所述的均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,其特征在于:所述的上导流板(4)为石英玻璃或钢化玻璃。8.根据权利要求1或7所述的均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,其特征在于:所述的上导流板(4)的宽度或面积不小于进风口(12)的宽度或面积。9.根据权利要求1所述的均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,其特征在于:所述的炉体内设置有加热装置(14),加热装置(14)、光源(3)、温度传感器(16)、进风口(12)、出风口(9)和抽风装置(10)形成炉体内的温控系统,从而将电池片(5)的表面温度控制在150℃~500℃之间。10.根据权利要求1所述的均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,其特征在于:所述的光源(3)采用LED灯或卤素灯或氙灯或激光中的一种或几种,光源(3)的波长是600nm~1000nm,光源(3)的光强是10KW/m2~100KW/m2。2CN107146828A说明书1/5页均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉技术领域[0001]本发明涉及一种均匀高效退火的太阳电池辐照退火炉,可用于太阳电池的辐照退火处理。背景技术[0002]对于P型晶硅太阳电池,因为硼氧对的存在,在太阳光照环境下,使用初期会发生效率衰减现象(LID现象),尤其是近几年兴起的高效PERC电池,这种光致衰减现象尤为严重。研究表明,预先使用一种特定的光源在一定温度条件下对电池片进行辐照退火处理,会有效防止这种光衰现象发生,这一技术已经从理论上获得突破和验证,现有设备处理效果可以将LID从5%左右降到1.5%-2%。但是,要在30S的时间内完成辐照退火处理,在太阳电池生产线上实现在线连续化生产,或者将LID降到1%以下或者