一种用于晶圆流片制造的前处理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109256348A(43)申请公布日2019.01.22(21)申请号201811208365.8(22)申请日2018.10.17(71)申请人江苏英锐半导体有限公司地址224000江苏省盐城市盐城经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房(72)发明人王昌华(74)专利代理机构常州市权航专利代理有限公司32280代理人袁兴隆(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图2页(54)发明名称一种用于晶圆流片制造的前处理装置(57)摘要本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其可以方便将处理后的晶圆一次性全部取出，提高其实用性；并且可以在处理过程中，方便对每个晶圆表面进行充分处理，提高其处理效果；包括处理箱和四组支撑柱；还包括两组左支撑弹簧、两组右支撑弹簧、两组支撑板、两组左支撑杆、两组右支撑杆和连接板，还包括两组限位板、两组固定弹簧、两组方形限位块和取放箱；还包括两组旋转杆、两组从动齿轮、两组主动齿轮、两组上连接杆、两组下连接杆、两组上定位轮、两组下定位轮、左固定板、右固定板和两组传动链条。CN109256348ACN109256348A权利要求书1/2页1.一种用于晶圆流片制造的前处理装置，包括处理箱（1）和四组支撑柱（2），处理箱（1）内设置有处理腔，并在处理箱（1）顶部设置有取放口，取放口与处理腔相通，四组支撑柱（2）顶端分别与处理箱（1）底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；其特征在于，还包括两组左支撑弹簧（3）、两组右支撑弹簧、两组支撑板（4）、两组左支撑杆（5）、两组右支撑杆和连接板（6），所述两组左支撑弹簧（3）和两组右支撑弹簧顶端和底端分别与两组支撑板（4）底部、处理箱（1）内底部左半区域和右半区域连接，所述两组左支撑杆（5）和两组右支撑杆顶端分别穿过处理箱（1）底部并与两组支撑板（4）底部连接，并且两组左支撑杆（5）和两组右支撑杆与处理箱（1）底部接触处机械密封，还包括两组限位板（7）、两组固定弹簧（8）、两组方形限位块（9）和取放箱（10），所述两组限位板（7）分别安装在两组支撑板（4）顶部，所述两组固定弹簧（8）两端分别与两组方形限位块（9）和两组限位板（7）连接，所述取放箱（10）内设置有放置腔，取放箱（10）顶部设置有进出口，进出口与放置腔相通，所述取放箱（10）左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有两组方形限位槽，所述两组方形限位块（9）分别伸入两组方形限位槽内，所述取放箱（10）左侧壁、右侧壁、前侧壁、后侧壁和底部分别设置有多组通孔；还包括两组旋转杆（11）、两组从动齿轮（12）、两组主动齿轮（13）、两组上连接杆（14）、两组下连接杆、两组上定位轮（15）、两组下定位轮、左固定板、右固定板（16）和两组传动链条（17），所述两组限位板（7）中央区域分别设置有两组旋转孔，所述两组旋转杆（11）一端分别穿过两组旋转孔并与两组方形限位块（9）连接，所述两组从动齿轮（12）分别安装在两组旋转杆（11）另一端，所述两组上连接杆（14）两端分别与两组主动齿轮（13）和两组上定位轮（15）连接，所述两组下连接杆两端分别与两组从动齿轮（12）和两组下定位轮连接，所述左固定板右侧壁和右固定板（16）左侧壁上半区域和下半区域分别设置有两组上定位槽和两组下定位槽，所述两组上定位轮（15）和两组下定位轮分别位于两组上定位槽和两组下定位槽内，所述两组传动链条（17）分别包裹在两组主动齿轮（13）和两组从动齿轮（12）外部，并且两组传动链条（17）分别与两组主动齿轮（13）和两组从动齿轮（12）啮合，所述取放箱（10）的进出口处可拆卸设置有挡盖（18）。2.如权利要求1所述的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其特征在于，还包括两组左定位杆（19）、两组右定位杆、两组左支撑轴（20）、两组右支撑轴、两组左移动环（21）和两组右移动环，所述两组左支撑轴（20）和两组右支撑轴顶端分别与左固定板和右固定板（16）底部前半区域和后半区域连接，所述两组左移动环（21）和两组右移动环分别安装在两组左支撑轴（20）和两组右支撑轴底端，所述两组左定位杆（19）和两组右定位杆一端分别穿过两组左移动环（21）和两组右移动环并与两组支撑板（4）连接。3.如权利要求2所述的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其特征在于，还包括左滑板（22）和右滑板，所述左滑板（22）和右滑板分别安装在两组左定位杆（19）和两组右定位杆另一端。4.如权利要求3所述的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其特征在于，还包括两组前定位环（23）、两组后定位环、两组前拉绳（24）、两组后拉绳和两组下压板（25）