一种用于PCB内层板曝光的曝光机以及对准曝光方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109471337A(43)申请公布日2019.03.15(21)申请号201811636066.4(22)申请日2018.12.29(71)申请人苏州源卓光电科技有限公司地址215000江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室(72)发明人刘栋张雷李伟成(74)专利代理机构苏州国诚专利代理有限公司32293代理人陈松(51)Int.Cl.G03F9/00(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种用于PCB内层板曝光的曝光机以及对准曝光方法(57)摘要本发明旨在提供一种用于PCB内层板曝光的曝光机，能够确保PCB内层板正面和背面上曝光的图形位置相对应，包括基板台面和对准系统，位于基板台面下方设有定位机构，包括光源、准直镜头、光阑，PCB内层板置于光阑的上方，光阑上设有至少三个透光孔，透光孔能够确定一个圆，光束分别透过每个透光孔照射到PCB内层板的背面上留下光刻标记，光刻标记用于作为PCB内层板背面上的对位孔，光阑设置在位于基板台面上的标记板的一端，标记板的另一端上设有与光阑上的透光孔相对应的标记点，用于实时监测光阑位置的变化以补偿曝光系统与光刻标记的位置关系，同时本发明还提供了采用该曝光机对PCB内层板对准曝光的方法。CN109471337ACN109471337A权利要求书1/2页1.一种用于PCB内层板曝光的曝光机，包括安装在底座上的可移动的基板台面和设置在所述基板台面上的对准系统，PCB内层板正面朝上背面朝下置于所述基板台面上，其特征在于：位于所述基板台面下方设有定位机构，定位机构包括自下往上顺序设置的光源、准直镜头、光阑，所述PCB内层板置于所述光阑的上方，从所述光源产生的光斑经过所述准直镜头折射为若干平行光束投射到所述光阑上，所述光阑上设有至少三个透光孔，所述透光孔能够确定一个圆，光束分别透过每个透光孔照射到所述PCB内层板的背面上且在所述PCB内层板的背面上对应留下一个光刻标记，光刻标记用于作为PCB内层板背面上的对位孔，所述光阑设置在位于所述基板台面上的标记板的一端，所述标记板的另一端上设有与所述光阑上的透光孔相对应的标记点，所述标记板设有标记点的一端伸出所述基板台面设置，所述对准系统对所述标记点拍照获取标记点的位置，用于实时监测光阑位置的变化以补偿曝光系统与光刻标记的位置关系。2.根据权利要求1所述的一种用于PCB内层板曝光的曝光机，其特征在于：位所述基板台面通过多轴运动平台安装在所述底座上，所述多轴运动平台能够带动PCB内层板在三维空间中运动，所述底座上设置有龙门，所述龙门上设有所述对准系统和曝光系统。3.根据权利要求2所述的一种用于PCB内层板曝光的曝光机，其特征在于：所述对准系统包括安装在龙门上的固定对准组件和移动对准组件，所述固定对准组件包括固定在所述龙门上的固定对准相机和照明光源，所述固定对准相机的镜头朝下设置，所述移动对准组件包括沿所述龙门设置的滑轨，所述滑轨上设置有能够沿所述滑轨移动的移动对准相机，所述移动对准相机的镜头朝下设置。4.根据权利要求1所述的一种用于PCB内层板曝光的曝光机，其特征在于：所述定位机构至少设有三个，定位机构沿基板台面的长度方向的边沿或者沿基板台面的宽度方向的边沿设置。5.根据权利要求1所述的一种用于PCB内层板曝光的曝光机，其特征在于：所述透光孔设置有六个，六个所述透光孔分别设置在一个圆的圆周上，所述透光孔在圆周上间隔60度布置。6.根据权利要求1所述的一种用于PCB内层板曝光的曝光机，其特征在于：在所述基板平台的边缘处沿所述基板平台的长度方向和宽度方向分别设置有定位标尺，所述PCB内层板通过所述定位标尺定位置于所述基板台面上，所述定位标尺上设有保护槽，标记板设有标记点的一端设置在所述保护槽内。7.根据权利要求1所述的一种用于PCB内层板曝光的曝光机，其特征在于：多轴运动平台包括y轴运动组件、x轴运动组件、z轴运动组件，X轴运动组件和y轴运动组件配合能够使得基板台面在平行于底座的平面内移动，z轴运动组件能够使得基板台面上的PCB内层板运动到曝光和对位的焦面。8.一种采用权利要求3所述的曝光机对PCB内层板进行对准曝光的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤S1：正面位置调整及曝光：通过多轴运动平台将承载有PCB内层板的基板台面移动到对准系统下方，定位机构的光源发光，经过准直镜头、光阑在PCB内层板的背面上留下光刻标记，每个定位机构对应的光刻标记能够确定一个对位点的位置，同时对准系统对基板台面上的标记点进行拍照，获取标记点的实际位置的坐标，获取标记点的实际位置的坐标2CN109471337A权利要求书2/2页与经多轴运动平台移动后标记点的理论位置的坐标的误差，从而