分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109537049A(43)申请公布日2019.03.29(21)申请号201811200639.9(22)申请日2018.10.16(71)申请人中国电子科技集团公司第十一研究所地址100015北京市朝阳区酒仙桥路4号(72)发明人吴亮亮王丛高达王经纬刘铭周立庆(74)专利代理机构工业和信息化部电子专利中心11010代理人齐洁茹(51)Int.Cl.C30B25/20(2006.01)C30B29/46(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法(57)摘要本发明公开了一种分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法，包括：步骤一、利用化学抛光液对碲锌镉衬底表面进行化学抛光处理，获得抛光后的碲锌镉衬底；步骤二、利用第一湿化学清洗液和第二湿化学清洗液依次对抛光后的碲锌镉衬底进行清洗以去除碲锌镉衬底表面的有机物；步骤三、利用湿化学腐蚀溶液对清洗后的碲锌镉衬底表面进行湿化学腐蚀处理；步骤四、利用第三湿化学清洗液对腐蚀后的碲锌镉衬底表面进行漂洗以去除碲锌镉衬底表面的残留试剂；步骤五、对漂洗后的碲锌镉衬底表面进行干燥处理，并将经过干燥处理后的碲锌镉衬底转移至真空腔室。经过本方法处理后的碲锌镉的衬底表面粗糙度在1nm左右，降低了粗糙度，为后期碲镉汞分子束外延工艺提供了保证。CN109537049ACN109537049A权利要求书1/1页1.一种分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤一、利用化学抛光液对碲锌镉衬底表面进行化学抛光处理，获得抛光后的碲锌镉衬底；步骤二、利用第一湿化学清洗液和第二湿化学清洗液依次对所述抛光后的碲锌镉衬底进行清洗以去除碲锌镉衬底表面的有机物；步骤三、利用湿化学腐蚀溶液对清洗后的碲锌镉衬底表面进行湿化学腐蚀处理；步骤四、利用第三湿化学清洗液对腐蚀处理后的碲锌镉衬底表面进行漂洗以去除碲锌镉衬底表面的残留试剂；步骤五、对漂洗后的碲锌镉衬底表面进行干燥处理，并将经过干燥处理后的碲锌镉衬底转移至真空腔室。2.如权利要求1所述的分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法，其特征在于，所述化学抛光液为0.05％vol％～0.5％vol％溴甲醇抛光液。3.如权利要求1所述的分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法，其特征在于，所述步骤一中，进行化学抛光处理的时间为10～30秒。4.如权利要求1所述的分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法，其特征在于，所述第一湿化学清洗液为丙酮；利用第一湿化学清洗液清洗的时间为2～3分钟。5.如权利要求1所述的分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法，其特征在于，所述第二湿化学清洗液为甲醇；利用第二湿化学清洗液清洗的时间为2～3分钟。6.如权利要求1所述的分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法，其特征在于，所述湿化学腐蚀溶液为0.01％vol％～0.1％vol％溴甲醇腐蚀液。7.如权利要求1所述的分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法，其特征在于，所述步骤四中，进行湿化学腐蚀处理的时间为30～60秒。8.如权利要求1所述的分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法，其特征在于，所述第三湿化学清洗液为甲醇；利用第三湿化学清洗液对腐蚀后的碲锌镉衬底表面进行漂洗的时间为2～3分钟。9.如权利要求1所述的分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法，其特征在于，所述步骤五中，对漂洗后的碲锌镉衬底表面进行干燥处理具体为：采用氮气吹干法对漂洗后的碲锌镉衬底表面进行干燥处理。2CN109537049A说明书1/5页分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法技术领域[0001]本发明涉及外延衬底预处理技术领域领域，尤其涉及一种分子束外延用碲锌镉衬底预处理方法。背景技术[0002]碲镉汞材料是高性能红外焦平面探测器的首选材料，通过调节镉的组分，碲镉汞的带隙可以实现在0～1.6eV之间连续变化，而其所对应的波长能够完全覆盖短波(1.7～3μm)、中波(3～5μm)、长波(8～10μm)和甚长波(＞12μm等整个红外波段。[0003]现阶段，世界各国大力发展以大面阵、甚长波、双多色甚至多波段、低成本为代表的第三代红外焦平面探测器。第三代红外焦平面探测器对碲镉汞材料的面积、性能、可靠性等参数提出了更高的要求。分子束外延技术是在超高真空条件下，将构成晶体各组分和掺杂原子按照一定比例和一定热运动速度，喷射到一定温度的衬底表面上进行的薄膜外延技术。与其他外延技术相比，分子束外延技术具有“柔性制造”特点，外延结构灵活可控，组分厚度精确可调且均匀性良好；外延尺寸大，能够保证外延大面积材料的要求；可以外延生长多层复杂结构以及实现原位掺杂，为器件制备台面结提供可能。因此分子束外延碲镉汞技术成为制备大规模、双多色等第三代红