碲锌镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114242846A(43)申请公布日2022.03.25(21)申请号202210174634.3(22)申请日2022.02.25(71)申请人陕西迪泰克新材料有限公司地址712000陕西省咸阳市西咸新区秦汉新城周陵新兴产业园区天工一路东段8号-1(72)发明人段志昱杨帆汤三奇盛丽娜贺琪贾宁波康丹妮席守智(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司11002代理人沈军(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L31/119(2006.01)C09G1/02(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图5页(54)发明名称碲锌镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法(57)摘要本发明提供一种碲锌镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法，所述碲锌镉探测器的栅极钝化方法包括：对制备有阳极的碲锌镉晶片的上表面进行光刻处理，在阳极的表面覆盖第一厚度的光刻胶层，将栅极露出；对碲锌镉晶片的上表面进行化学抛光处理，去除栅极的表面的富碲层，基于化学抛光的反应产物在栅极的表面形成高阻钝化层，并使得阳极的表面保留第二厚度的光刻胶层；其中，第一厚度大于或等于第二厚度，第二厚度大于零。本发明处理工艺简单，能够在保护阳极的前提下实现对栅极的钝化处理，可有效降低碲锌镉探测器的漏电流，实现在较高的偏压下对碲锌镉探测器进行能谱测试，确保碲锌镉探测器达到较高的能谱分辨率。CN114242846ACN114242846A权利要求书1/2页1.一种碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，包括：对制备有阳极的碲锌镉晶片的上表面进行光刻处理，在阳极的表面覆盖第一厚度的光刻胶层，将栅极露出；对碲锌镉晶片的上表面进行化学抛光处理，去除栅极的表面的富碲层，基于化学抛光的反应产物在栅极的表面形成高阻钝化层，并使得阳极的表面保留第二厚度的光刻胶层；其中，所述第一厚度大于或等于所述第二厚度，所述第二厚度大于零。2.根据权利要求1所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，对所述碲锌镉晶片的上表面进行化学抛光处理的步骤，包括：在抛光液辅助的情形下，采用抛光垫对碲锌镉晶片的上表面进行抛光处理；其中，所述抛光液为反应液与研磨液的混合液；所述反应液用于与所述栅极的表面进行化学反应；所述研磨液用于辅助所述抛光垫对所述光刻胶层进行抛光处理，以及辅助所述抛光垫去除所述栅极的表面不溶解的反应产物。3.根据权利要求2所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，在抛光垫采用长绒毛抛光垫的情形下，对所述碲锌镉晶片的上表面进行化学抛光处理的步骤，包括：控制所述抛光液以13滴/秒的供液速率滴在所述长绒毛抛光垫上，以及控制所述长绒~0分钟；毛抛光垫的抛光速度为20~40转/分钟，抛光时间为10~6其中，所述抛光液采用所述反应液与所述研磨液配比而成，所述反应液与所述研磨液的体积比为1:（1~5）；所述长绒毛抛光垫上长绒毛的长度为100~1500微米。4.根据权利要求2所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，所述反应液采用氟化铵与双氧水的混合液；或者，所述反应液为氢氧化钾与双氧水的混合液。5.根据权利要求4所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，所述反应液采用氟化铵与双氧水配比而成，所述氟化铵选用的浓度为10wt%，所述双氧水选用的浓度为30wt%，所述氟化铵与所述双氧水的体积比为3：（1~2）；或者，所述反应液采用氢氧化钾与双氧水配比而成，所述氢氧化钾选用的浓度为15wt%，所述双氧水选用的浓度为30wt%，所述氢氧化钾与所述双氧水的体积比2:（1~3）。6.根据权利要求2所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，所述研磨液包括抛光粉，所述抛光粉包括纳米级氧化铝、纳米级氧化硅、纳米级氧化铈当中的至少一种组分，所述抛光粉的粒度为50~200nm。7.根据权利要求1至6任一所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，还包括：将经过化学抛光处理后的碲锌镉晶片浸入至有机溶剂中，去除阳极表面的光刻胶。8.根据权利要求7所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，所述有机溶剂包括甲醇、乙醇、异丙醇及丙酮当中的任一种组分。9.根据权利要求1至6任一所述的碲锌镉探测器的栅极钝化方法，其特征在于，所述对制备有阳极的碲锌镉晶片的上表面进行光刻处理的步骤，包括：涂胶步骤，在碲锌镉晶片的上表面涂覆一层光刻胶膜；烤胶步骤，对光刻胶膜进行烘烤，使得光刻胶膜内的溶剂挥发；对准曝光步骤，采用掩模板对准阳极所在的区域进行曝光，确保曝光区域覆盖阳极的表面；烘烤步骤，对曝光处理后的光刻胶膜进行烘烤，消除驻波效应；显影步骤，采用显影液溶解掉曝光区域之外的光刻胶膜，以在阳极的表面制备得到光2CN114242846A权利要求书2/2