一种金刚线切割硅片预处理设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109585608A(43)申请公布日2019.04.05(21)申请号201811608021.6(22)申请日2018.12.27(71)申请人无锡赛晶太阳能有限公司地址214251江苏省无锡市宜兴市官林镇工业集中区C区(72)发明人蒋建宝(74)专利代理机构江苏圣典律师事务所32237代理人贺翔(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L31/0236(2006.01)C30B33/12(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种金刚线切割硅片预处理设备(57)摘要本发明公开了一种金刚线切割硅片预处理设备，包括腔体、一组或多组等离子发生器、传送系统以及废气排放系统；所述的等离子发生器安装在上腔体的上端面上并与腔体连通，所述的废气排放系统与腔体下端面相连并与腔体连通；所述传送系统穿过腔体左右两侧的开口并向两侧延伸；通过射频电源激发铜线圈,产生电磁震荡,刻蚀气体通过气管通入石英反应腔,混合后被射频电源激发为等离子体,当硅片从下方经过时对硅片表面进行刻蚀，在硅片表面留下均匀细小的缺陷,这些缺陷在制绒槽内背继续腐蚀放大为绒面结构，使得后期制绒效果好，可以减少或者替代制绒添加剂，降低制绒成本和废水处理成本，提高电池片转换效率。CN109585608ACN109585608A权利要求书1/1页1.一种金刚线切割硅片预处理设备，其特征在于：包括腔体、一组或多组等离子发生器、传送系统以及废气排放系统；所述腔体的左右两侧开有对称的开口；所述的等离子发生器包括射频电源、铜线圈以及石英罩，所述的铜线圈缠绕在石英罩的外壁上，并一头与射频电源的正级相连，另一头与射频电源的正级相连的负级相连；所述的传送系统包括传动电机、带有变速器的齿轮、链条、主传动辊、副传动辊以及传送网带，所述的电机与齿轮相连，所述的齿轮通过链条与主传动辊相连，主传动辊与副传动辊之间连接传送网带；所述电机的传动轴带动齿轮转动从而使得链条带动主传动辊转动，同时使得带动传送网带带动副传动辊转动；所述的废气排放系统包括耐腐蚀风管以及与耐腐蚀风管相连的抽风泵；所述的等离子发生器安装在上腔体的上端面上并与腔体连通，所述的废气排放系统与腔体下端面相连并与腔体连通；所述传送系统穿过腔体左右两侧的开口并向两侧延伸。2.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片预处理设备，其特征在于：所述的石英罩与腔体连通。3.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片预处理设备，其特征在于：所述的耐腐蚀风管与腔体下端面相连并与腔体连通。4.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片预处理设备，其特征在于：所述的石英罩上连接有刻蚀气体进口管。5.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片预处理设备，其特征在于：所述的石英罩外壁长20cm，宽20cm，高20cm，壁厚5mm。6.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片预处理设备，其特征在于：所述的铜线圈的直径为5mm。2CN109585608A说明书1/3页一种金刚线切割硅片预处理设备[0001]技术领域[0002]本发明属于太阳能电池制造领域，具体涉及一种金刚线切割硅片预处理设备。背景技术[0003]在太阳能电池持续降成本的趋势下,硅片切割方式普遍转变为金刚线切割,金刚线切割硅片,可以明显降低切割成本,提高出片率,同时提升生产效率,但是,金刚线切割硅片表面比较平滑,缺陷少,在后续的制绒工序不容易出绒面,导致反射率高,转换效率低；目前普遍的做法有两种,一种是在制绒过程中使用制绒添加剂,改善绒面效果,这种方法有一定效果,但是仍然达不到砂浆切割片的效果,并且使污水处理增加了难度；另外一种是干法制绒,直接用等离子体轰击产生陷光结构,但是这种工艺设备昂贵,成本增加大。发明内容[0004]本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种金刚线切割硅片预处理设备，不仅使得硅片满足切割片的效果，还降低了切割成本,提高了出片率,同时还提升了生产效率。[0005]本发明所述的一种金刚线切割硅片预处理设备，包括腔体、一组或多组等离子发生器、传送系统以及废气排放系统；所述腔体的左右两侧开有对称的开口；所述的等离子发生器包括射频电源、铜线圈以及石英罩，所述的铜线圈缠绕在石英罩的外壁上，并一头与射频电源的正级相连，另一头与射频电源的正级相连的负级相连；所述的传送系统包括传动电机、带有变速器的齿轮、链条、主传动辊、副传动辊以及传送网带，所述的电机与齿轮相连，所述的齿轮通过链条与主传动辊相连，主传动辊与副传动辊之间连接传送网带；所述电机的传动轴带动齿轮转动从而使得链条带动主传动辊转动，同时使得带动传送网带带动副传动辊转动；所述的废气排放系统包括耐腐蚀风管以及与耐腐蚀风管相连的抽风泵；所述的等离子发生器安装在