一种金刚线切割后的硅片清洗方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107240546A(43)申请公布日2017.10.10(21)申请号201710469245.2(22)申请日2017.06.20(71)申请人山西潞安太阳能科技有限责任公司地址046000山西省长治市郊区漳泽新型工业园区(72)发明人刘宝华任崇荣谷燕铂李东东王立明任欢欢梁玲赵强王莹(74)专利代理机构太原市科瑞达专利代理有限公司14101代理人李富元(51)Int.Cl.H01L21/02(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种金刚线切割后的硅片清洗方法(57)摘要本发明涉及硅片清洗领域，特别是涉及金刚线切割后的硅片领域。一种金刚线切割后的硅片清洗方法，按照如下的步骤进行，步骤一、将金刚线切割过的硅片在柠檬酸水溶液中清洗的步骤；步骤二、硅片在碱性清洗剂中清洗的步骤；步骤三、硅片在双氧水中清洗的步骤。通过碱洗前增加弱酸活化工艺，使得其硅片表面残留的金属离子更少，碱洗后增加双氧水清洗工艺祛除表面残留碱液、有机物、金属离子，同时使表面损伤层去除更大。硅片在后续电池制绒过程金字塔绒面的覆盖率更高，绒面更均一。CN107240546ACN107240546A权利要求书1/1页1.一种金刚线切割后的硅片清洗方法，其特征在于：按照如下的步骤进行步骤一、将金刚线切割过的硅片在柠檬酸水溶液中清洗的步骤；步骤二、硅片在碱性清洗剂中清洗的步骤；步骤三、硅片在双氧水中清洗的步骤。2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割后的硅片清洗方法，其特征在于：步骤一中，柠檬酸水溶液的质量百分比浓度为3％-5％，温度为40-50℃，清洗过程使用超声波。3.根据权利要求1所述的一种金刚线切割后的硅片清洗方法，其特征在于：步骤二中，碱性清洗剂的质量百分比浓度为5％-8％，温度为45-55℃，pH＝11～13，清洗过程使用超声波。4.根据权利要求1所述的一种金刚线切割后的硅片清洗方法，其特征在于：步骤三中，双氧水的质量百分比浓度为4％-8％，温度为40-45℃，清洗过程使用超声波。5.根据权利要求1所述的一种金刚线切割后的硅片清洗方法，其特征在于：步骤一中，将金刚线切割过的硅片使用纯水+溢流+超声后再在柠檬酸水溶液中清洗。6.根据权利要求1所述的一种金刚线切割后的硅片清洗方法，其特征在于：在步骤一和步骤二之间使用纯水+溢流+超声进行清洗。7.根据权利要求1所述的一种金刚线切割后的硅片清洗方法，其特征在于：在步骤三之后使用纯水+溢流+超声进行清洗。2CN107240546A说明书1/3页一种金刚线切割后的硅片清洗方法技术领域[0001]本发明涉及硅片清洗领域，特别是涉及金刚线切割后的硅片领域。背景技术[0002]目前对金刚线切割后的硅片一般都是直接通过碱性清洗剂进行清洗，这样使得硅片表面残留的金属离子、有机物、碱性清洗液不能根除，硅片在后续电池碱洗制绒过程，往往会出现表面制绒不均匀，呈现花斑现象。发明内容[0003]本发明所要解决的技术问题是：如何避免由于金刚线切割后的硅片没有清理干净造成的硅片在后续电池碱洗制绒过程出现表面制绒不均匀的问题。[0004]本发明所采用的技术方案是：发现硅片在后续电池碱洗制绒过程出现表面制绒不均匀的问题有部分原因是因为金刚线切割后的硅片没有清理干净造成的，并采用以下步骤对金刚线切割后的硅片进行彻底清理，一种金刚线切割后的硅片清洗方法，按照如下的步骤进行步骤一、将金刚线切割过的硅片在柠檬酸水溶液中清洗的步骤；步骤二、硅片在碱性清洗剂中清洗的步骤；步骤三、硅片在双氧水中清洗的步骤。[0005]作为一种优选方式：步骤一中，柠檬酸水溶液的质量百分比浓度为3％-5％，温度为40-50℃，清洗过程使用超声波。柠檬酸与硅片表面无机物反应，生成弱酸盐，去除表面金属等杂质。[0006]作为一种优选方式：步骤二中，碱性清洗剂的质量百分比浓度为5％-8％，温度为45-55℃，pH＝11～13，清洗过程使用超声波。[0007]作为一种优选方式：步骤三中，双氧水的质量百分比浓度为4％-8％，温度为40-45℃，清洗过程使用超声波。深层次的祛除硅片表面残留的碱液、有机物和金属离子，使硅片表面损伤层祛除更洁净。[0008]作为一种优选方式：步骤一中，将金刚线切割过的硅片使用纯水+溢流+超声后再在柠檬酸水溶液中清洗。避免直接使用柠檬酸水溶液造成柠檬酸的浪费。[0009]作为一种优选方式：在步骤一和步骤二之间使用纯水+溢流+超声进行清洗。避免硅片上粘接的柠檬酸破坏碱性清洗剂，造成碱性清洗剂浪费，同时可以把硅片上聚集的溶解的有机物和金属离子洗掉，使得后续的碱性清洗剂清洗效果更佳。[0010]作为一种优选方式：在步骤三之后使用纯水+溢流+超声进行清洗。避免步骤三清理过程