一种真空干燥装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110170433A(43)申请公布日2019.08.27(21)申请号201910451887.9(22)申请日2019.05.28(71)申请人昆山国显光电有限公司地址215300江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢(72)发明人刘灵蒋际君汪永佳沈楠(74)专利代理机构北京远智汇知识产权代理有限公司11659代理人张海英(51)Int.Cl.B05D3/04(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种真空干燥装置(57)摘要本发明实施例公开了一种真空干燥装置。该真空干燥装置包括：真空腔室，所述真空腔室包括相对设置的盖板和基板载台；所述盖板包括中央区域和围绕所述中央区域的边缘区域；所述中央区域和所述边缘区域均设置有进气孔。本实施例的方案避免了进气时气体从待干燥基板四周到待干燥基板中央形成涡流，从而避免了待干燥基板表面留下各种痕迹，提升了显示面板的显示均匀性。CN110170433ACN110170433A权利要求书1/1页1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：真空腔室，所述真空腔室包括相对设置的盖板和基板载台；所述盖板包括中央区域和围绕所述中央区域的边缘区域；所述中央区域和所述边缘区域均设置有进气孔。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述中央区域设置有至少一组中央进气孔组；所述边缘区域设置有偶数组边缘进气孔组，每两组所述边缘进气孔组相对设置于所述中央进气孔组的两侧。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述盖板沿第一方向的尺寸大于沿第二方向的尺寸，所述第一方向和所述第二方向相互垂直；所述边缘区域包括第一边缘进气孔组和第二边缘进气孔组，所述第一边缘进气孔组和所述第二边缘进气孔组沿所述第一方向设置于所述中央进气孔组的两侧；所述第一边缘进气孔组和所述第二边缘进气孔组的进气孔均沿所述第二方向依次排列。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于：所述中央区域包括一组中央进气孔组，所述中央进气孔组的进气孔沿所述第二方向排列；或者，所述中央区域包括两组中央进气孔组，所述中央进气孔组的进气孔沿所述第一方向排列或沿所述第二方向排列。5.根据权利要求2-4任一项所述的装置，其特征在于：每组进气孔组均包括至少两个缓慢进气孔和至少一个快速进气孔。6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于：每一进气孔组的所述快速进气孔相对于所述缓慢进气孔更靠近所述中央区域的几何中心。7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于：每组进气孔组包括两个缓慢进气孔和两个快速进气孔。8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述中央区域的边界到所述盖板的边界的距离大于或等于所述盖板的几何中心到所述盖板的相应边界的距离的2/5。9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于：所述盖板为矩形，所述中央区域包括与所述盖板的长边平行的第一边界以及与所述盖板的短边平行的第二边界，所述第一边界与所述长边的最小距离大于或等于所述短边的边长的1/5，所述第二边界与所述短边的最小距离大于或等于所述长边的边长的1/3。10.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括：电磁阀和管路；每一进气孔组的每一快速进气孔通过一电磁阀连接一所述管路，每一进气孔组的至少两个缓慢进气孔通过一电磁阀连接一所述管路。2CN110170433A说明书1/5页一种真空干燥装置技术领域[0001]本发明实施例涉及真空干燥技术，尤其涉及一种真空干燥装置。背景技术[0002]在显示面板的制造领域，黄光制程中一般将表面涂布有光阻的基板置于真空干燥装置中，使基板表面光阻中的有机溶剂挥发而使光阻干燥，但这种干燥方法容易造成显示面板亮度不均匀。发明内容[0003]本发明提供一种真空干燥装置，以避免进气时气体从待干燥基板四周到待干燥基板中央形成涡流，从而避免待干燥基板表面留下各种痕迹，提升显示面板的显示均匀性。[0004]第一方面，本发明实施例提供了一种真空干燥装置，包括：[0005]真空腔室，所述真空腔室包括相对设置的盖板和基板载台；[0006]所述盖板包括中央区域和围绕所述中央区域的边缘区域；所述中央区域和所述边缘区域均设置有进气孔。[0007]可选的，所述中央区域设置有至少一组中央进气孔组；[0008]所述边缘区域设置有偶数组边缘进气孔组，每两组所述边缘进气孔组相对设置于所述中央进气孔组的两侧。[0009]可选的，所述盖板沿第一方向的尺寸大于沿第二方向的尺寸，所述第一方向和所述第二方向相互垂直；[0010]所述边缘区域包括第一边缘进气孔组和第二边缘进气孔组，所述第一边缘进气孔组和所述第二边缘进气孔组沿所述第一方向设置于所述中央进气孔组的两侧；[0011]所述第一边缘进气孔组和所述第二边缘进气孔组的进气孔均沿所述第二方向依次