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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110643976A(43)申请公布日2020.01.03(21)申请号201911104738.1(22)申请日2019.11.13(71)申请人江苏实为半导体科技有限公司地址221300江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路北侧、华山北路西侧(72)发明人王峰李天兵袁大飞(51)Int.Cl.C23C16/455(2006.01)C23C16/44(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图3页(54)发明名称一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源(57)摘要本发明公开了一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源,包括平板、支撑脚、加固条、保护箱、铰链、箱门、透明玻璃窗、搭扣锁、电动推杆、固定罩、保温箱、金属保护层、石棉保温层、出气孔、进气管、阀门、MOCVD加热器、反应箱体、箱盖、空腔矩形板、出气孔、基片载板、连接杆、直管、金属导热箱、导热连接条、第一隔板、第二隔板、连接管、鹅颈管、软管和插管。本发明结构合理,可为进入的气体进行快速预热,预热时,通过气流路径延长结构增加了气体在金属导热箱中的流动路径,增加了气体的停留时间,提高了气体的温度,从而提高了反应效率,气体进入反应箱体中,减少热量的吸收,避免影响反应效率。CN110643976ACN110643976A权利要求书1/2页1.一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源,其特征在于:包括支撑架、保护箱(4)以及保温箱(11),所述保护箱(4)和保温箱(11)均固定安装在支撑架的顶部,所述保护箱(4)上安装有升降盖板,所述支撑架的顶部固定嵌合安装有MOCVD加热器(15),所述保护箱(4)底部设置有反应箱体(16),且反应箱体(16)与支撑架固接,所述MOCVD加热器(15)贯穿反应箱体(16)底部,所述升降盖板位于反应箱体(16)顶部,所述升降盖板的底部安装有空腔矩形板(18),所述空腔矩形板(18)的底部设置有若干个出气孔(12),所述空腔矩形板(18)底部通过连接杆(21)连接有基片载板(20);所述保温箱(11)的内部设置有金属导热箱(23),且金属导热箱(23)与保温箱(11)之间形成保温腔,所述保温腔的内部均匀设置有若干个导热连接条(24),且导热连接条(24)的两端分别与金属导热箱(23)以及保温箱(11)固接,所述保温箱(11)的顶部开有排气孔(19);所述金属导热箱(23)的一侧顶部固定连通有若干个插管(28),所述插管(28)贯穿保温箱(11),且插管(28)末端通过连接管(27)与空腔矩形板(18)顶部连通;所述反应箱体(16)的一侧通过直管(22)与保温腔的一侧连通,所述金属导热箱(23)底部固定连通有进气管(13),且进气管(13)贯穿保温箱(11)底部以及支撑架顶部,所述进气管(13)的底端安装有阀门(14),所述金属导热箱(23)内部从下到上设置有气流路径延长结构。2.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述支撑架包括平板(1),所述平板(1)的底部四角处均垂直固接有支撑脚(2),且支撑脚(2)之间通过加固条(3)固接。3.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述保护箱(4)的正面开口处设置有箱门(6),所述箱门(6)的一侧通过铰链(5)与保护箱(4)铰接,所述箱门(6)的另一侧通过搭扣锁(8)与保护箱(4)连接,所述箱门(6)的表面固定嵌合安装有透明玻璃窗(7)。4.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述MOCVD加热器(15)的底部套接有固定罩(10),且固定罩(10)与平板(1)底部固接。5.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述升降盖板包括电动推杆(9)以及箱盖(17),所述电动推杆(9)的壳体与保护箱(4)顶部垂直固接,且电动推杆(9)的输出底端与箱盖(17)顶部固接。6.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述保温箱(11)由金属保护层(1101)以及石棉保温层(1102)构成,所述金属保护层(1101)的数目为两个,且两个金属保护层(1101)分别固定安装在石棉保温层(1102)的内侧和外侧。7.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述连接管(27)由鹅颈管(2701)和软管(2702)套接而成,所述软管(2702)设置在鹅颈管(2701)的内部。8.根据权利要求1所述的一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述金属导热箱(23)和保温箱(11)均与插管(28)的外管壁无缝焊接。9.根据权利要求1所述的一种具有