一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源.pdf
小凌****甜蜜
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一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源.pdf
本发明公开了一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源,包括平板、支撑脚、加固条、保护箱、铰链、箱门、透明玻璃窗、搭扣锁、电动推杆、固定罩、保温箱、金属保护层、石棉保温层、出气孔、进气管、阀门、MOCVD加热器、反应箱体、箱盖、空腔矩形板、出气孔、基片载板、连接杆、直管、金属导热箱、导热连接条、第一隔板、第二隔板、连接管、鹅颈管、软管和插管。本发明结构合理,可为进入的气体进行快速预热,预热时,通过气流路径延长结构增加了气体在金属导热箱中的流动路径,增加了气体的停留时间,提高了气体的温度,从而提高了反应效率,
一种具有升降功能的MOCVD加热器源.pdf
本发明公开了一种具有升降功能的MOCVD加热器源,包括方口筒、杯体、侧环板、放置网板、外齿环块、凹面环槽、扇形板、圆环、圆块、圆柱槽、液压推杆、方条块、导向槽、滑块、方孔、柱形室、齿轮、放置槽、微型电机、环形槽、滚珠、电加热丝和侧环槽。本发明,具有向上旋转及向下旋转形成升降的功能,能够对加热源产生的热量进行集中或分散,达到在加热源通电一定的情况下改变热量大小的效果,便于更好地给物体加热,能够改变限定四个扇形板展开大小,达到改变加热源加热区域面大小的效果,具有带动带加热物体旋转的功能,便于更换环形区间内的加
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本发明公开了一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法,包括放置板、放置槽、支撑腿、滚轮、液压缸、连接板、电动推杆、推板、防滑凸块、电动机、固定板、紧固螺栓、固定座、防滑纹、支撑块、转动槽、滚珠和MOCVD加热器源本体。该种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法结构简单、设计新颖,便于工作者进行调节MOCVD加热器源的放置位置,方便工作者进行维修,同时便于MOCVD加热器源维修过程中不发生左右滑动,利于使用,通过设置的缓冲机构的作用下,便于提高固定座对MOCVD加热器源本体的支撑效果,保障固定
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本实用新型公开了一种具有快速安装功能的换热器,包括换热器本体和安装在换热器本体内的安装板及位于换热器本体内部管道,安装板上端固定连接有四个限位柱,四个限位柱分别位于管道两侧,管道上端设有限位板,限位板上设有四个第一通孔,限位板上端两侧均设有限位块,两个限位块上均设有两个第二通孔,四个限位柱均通过对应第一通孔和第二通孔贯穿限位板和限位块;两个限位块之间设有定位机构,四个限位柱靠近定位机构的一侧均设有定位槽,本实用新型所达到的有益效果是:能够对管道进行快速安装,不需要准备专用型号的各种辅助工具,也不需要对大量